PVD

数的提升所推动，届时这两个环节的节拍数将提升至10000片/小时以上;而在清洗制绒、PVD环节，主要是靠设备国产化降本所推动。 由此可以预期，在2022年，HJT电池线成套设备的价格将从当前水平显著

清洗、一套PECVD及一套丝网印刷线，产能8000片/时)和两套合计0.6亿元的PVD设备订单(合计产能13500片/时)，理想万里晖中标一套0.55亿元PECVD设备(产能4000片/时)，苏州中辰
+团队技术经验丰富将保障项目的顺利实施。 2. PVD设备积极布局，致力于提供HIT光伏电池技术整线解决方案 HIT四大步骤对应的设备分别为清洗设备、CVD设备、PVD设备、丝网印刷设备。某电池片设备

运用。 国产设备厂加紧布局异质结设备，分享此轮技术更迭红利。异质结电池分为制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝网印刷四道 工艺，目前国内设备厂商积极布局各环节设备。制绒清洗领 域，国产代表是
捷佳伟创;PECVD领域，国内厂商包括理想万 里晖、迈为股份、钧石、捷佳伟创(研发中)等;PVD/RPD领 域，国产厂商包括捷佳伟创、钧石、宏大真空等;丝网印刷 机领域，国内企业包括迈为股份

、PVD等生产设备并形成初步生产能力。PECVD、PVD设备是异质结电池片生产线中的核心工艺设备，用于制备P型或N型非晶硅和本征非晶硅薄膜等。项目计划总投资12588万元，预计使用本次募集资金9000万元

33,000万元，不足部分由公司以自有资金或通过其他融资方式解决。 根据公告，用于制备异质结和钙钛矿叠层电池的核心设备研发项目旨在研制、开发光伏异质结(HJT)用PEVCD、PVD等生产设备并形成初步
生产能力。PEVCD、PVD设备是HJT电池片生产线中的核心工艺设备，用于制备P型或N型非晶硅和本征非晶硅薄膜等。项目计划总投资12,588万元，预计使用本次募集资金9,000万元，不足部分由公司以

、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备四个步骤，主要生产设备有清洗制绒机、PECVD、RPD/PVD以及丝网印刷机。目前，异质结产线设备较高，占据了异质结电池产品成本很大的比重，根据预测，异质结核心设备
未来2至3年能够实现国产化，成本可下降至5亿元/GW，将快速推动异质结规模产业化的实现。 钧石能源致力于异质结技术与设备研发十余年，并拥有具有自主知识产权的PECVD、PVD等核心生产设备，是全球

《上方PVD镀膜设备助力HIT电池创造未来》。 文章信息显示，上方自2017年开始服务HIT客户以来，一直致力于开发更高产能低损伤的PVD镀膜设备以打破国外垄断，目前推出6000片/小时的新一代技术方案
阶段的验证和智能化自动化升级，新的GW级生产线设计符合行业对异质结电池核心生产装备需要具备持续竞争力的要求，主要设备PECVD、PVD、印刷机等兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片，采用大

(HWCVD)，其中本征非晶硅薄膜是 HIT 电池表面的钝化层，沉积后需要掺杂膜层来形成发射极和背表面场。 TCO 薄膜沉积：常用的工艺是磁控溅射(PVD)和反应等离子体沉积(RPD)，沉积非晶硅薄膜后
，开始为 HIT 电池厂商提供包括 PECVD 在内的关键沉积设备，理想能源、捷佳伟创、金辰股份、迈为股份等均在积极进行 PECVD 设备研发。 3.4 TCO 膜沉积：PVD/RPD，短期内

兴建，计划总投资15亿元，项目建成后预计年均实现销售收入26亿元，利税突破4亿元。 高登赛1GW高效异质结太阳电池项目，采用国际最先进的清洗制绒机、PECVD非晶硅镀膜机、PVD沉积导电膜机和电极印刷机

的可能， 技术上异质结比 PERC 更具想象空间，如沉积方式从 PVD 专项 RPD 以及多主栅、光注入退火的叠加，甚至与钙钛矿电池结合形成叠层电池。若异质结电池最终实现 25%的转换效率， 较升级
和掺杂非晶硅薄膜环节，理想万里晖提供的 PECVD 设备在备受好评，迈为股份也不断精进其 PERCVD 设备;在沉积 TCO 薄膜环节， 钧石能源的 PVD 设备已经入大规模生产应用，捷佳伟创在获得