PVD
、硅基薄膜沉积(PECVD)、透明导电薄膜沉积(PVD)和丝网印刷这四道工艺制程;此外，作为平台型技术，异质结有叠加其他先进工艺使转换效率更高幅度提升的潜力，是有望让光伏行业的降本增效从希冀变为现实的技术
，华晟此次发布的166常规尺寸的冠军电池片，其微晶工艺具备量产性，可以基于现有非晶产线设计基础升级实施，仍然使用PVD量产工艺溅射TCO薄膜，因此具备大规模量产推广的可行性，其难度和含金量不言而喻
(与安徽华晟的迈为设备相同)，多了一次翻面，但是可以提高至少0.15%的转换效率，且减少了镀膜的污染。
2)在透明导电膜环节(设备价值量占比25%)使用的是PVD设备。我们一直认为，虽然RPD的效率高
，但是在量产线上，PVD又一次被选择，说明PVD已经逐步被客户广泛认可;RRP和PVD的靶材发射方式的区别导致了是否适合量产，RPD的方式是蒸镀，靶材容易落到腔体，需要定期开腔回收和清洗;PVD的镀膜
(与安徽华晟的迈为设备相同)，多了一次翻面，但是可以提高至少0.15%的转换效率，且减少了镀膜的污染。2)在透明导电膜环节(设备价值量占比25%)使用的是PVD设备。我们一直认为，虽然RPD的效率高
，但是在量产线上，PVD又一次被选择，说明PVD已经逐步被客户广泛认可;RRP和PVD的靶材发射方式的区别导致了是否适合量产，RPD的方式是蒸镀，靶材容易落到腔体，需要定期开腔回收和清洗;PVD的镀膜方式
项目设备工艺选型表，产线中PECVD、PVD设备均为2台，预计均为大产能量产设备。 金辰股份异质结PECVD设备落地晋能：根据金辰股份官方信息，近日首台由金辰自主研发的异质结HJT太阳能电池
、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道工艺设备。随着迈为、捷佳及钧石等国内设备厂商积极推进HJT整线设备产业化，带动核心设备价格持续下降，Solarzoom预计2022年设备成本有望降至3亿元/GW
、TCO薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道设备。目前国内试产及量产产线基本实现了HJT设备的国产化替代。从目前量产产线的招标设备情况看，国内的
据了解，今年3月18日正式投产出片的安徽华晟，投产电池线采用了启威星(YAC)的清洗制绒设备、迈为及理想的PECVD设备、迈为的PVD设备、迈为及中辰昊的丝网印刷设备。
华晟500MW异质结电池
，钧石能源拥有自主知识产权的PECVD、PVD等核心生产设备技术，可兼容166mm、18xmm以及210mm尺寸硅片，适应未来行业的发展要求。
5月28日，通威宣布1GW高效异质结电池项目设备如期进场
沉积、电极金属化四个步骤，分别对应的制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、 丝印/电镀四道工艺设备。随着迈为、捷佳及钧石等国内设备厂商积极推进 HJT 整线设备产业化，带动核心设备价格持续下降
、PECVD、 PVD/RPD、丝印/电镀四道设备。目前国内试产及量产产线基本实现了 HJT 设备的国产化 替代。从目前量产产线的招标设备情况看，国内的迈为股份、捷佳伟创、钧石能源等厂商 整线化布局
、捷佳伟创、钧石能源均有PVD设备销售，理想万里辉正在推进样机研发。
华晟异质结流片，转化效率24.39%，国产设备正在验证中;通威异质结新项目预计下半年投产。2021年3月，华晟宣城500MW
理想万里晖的PECVD设备、迈为股份的PVD设备、迈为股份及中辰昊的丝网印刷设备，并使用了迈为股份MES系统对全电池产线进行调度及智能优化。此外通威异质结新项目预计下半年投产，随着产线继续量产化运行
。 在薄膜领域，莱宝专注于PVD的应用;在晶硅领域，我们主要在电池片的生产中致力于PVD及CVD的应用。同时在组件的生产过程中也大量用到莱宝的系列产品。
