PVD
产能异质结专用PVD(物理气相沉积)设备。作为新一代高效异质结太阳能电池生产制造核心装备，将为我国实现 碳达峰、碳中和 提供坚实的科技支撑。 电科装备此次推出的异质结专用PVD
? 一般来讲CVD占50%，PVD占比20%，丝印15%，清洗制绒7-10%，迈为的自主的PECVD、PVD、印刷是占到90%，清洗制绒我们参股的公司是30%，我们在整线中的占比达到95%。 今年
于HJT异质结高效太阳能电池量产的大产能低成本PECVD、PVD、低温银浆丝网印刷及LED光注入等核心生产设备，研发HJT高效电池及组件的先进工艺和制造技术。
自2019年1月公司的HJT
、硅基薄膜沉积(PECVD)、透明导电薄膜沉积(PVD)和丝网印刷这四道工艺制程;此外，作为平台型技术，异质结有叠加其他先进工艺使转换效率更高幅度提升的潜力，是有望让光伏行业的降本增效从希冀变为现实的技术。
投资成本从2019年的8-10亿元，降至了2020年的5亿元，今年有望降低至4亿元左右。壹纳光电作为国内目前唯一能同时批量供应异质结PVD和RPD用TCO靶材的合格供应商长沙壹纳光电材料公司 ，根据
，银包铜技术从理论上是可行的。相比其他较成熟的perc电池，它的成本优势充分的表现出来。靶材方面，目前在PVD和RPD都是非常可观的，长沙壹纳在导电材料领域深耕了25年。梳理了产品实现的底层逻辑和
的5亿元，今年有望降低至4亿元左右。壹纳光电作为国内目前唯一能同时批量供应异质结PVD和RPD用TCO靶材的合格供应商长沙壹纳光电材料公司 ，根据第一性原理来梳理产品实现的底层逻辑，对TCO材料成分
更低，长期来看代表未来电池技术的发展方向。
异质结电池制备主要涉及四大设备，分别是清洗制绒设备、PECVD 设备、PVD/RPD 设备、丝网印刷设备，在设备投资额占比分别约 15%、50%、20%和
15%。目前国产设备厂商已快速崛起，纷纷布局 PECVD 等核心设备，将成为行业突破口。
影响设备投资额的因素为三个：一是设备配置，如TCO制备选择RPD还是PVD;二是采取进口还是国产方案
两种路径中，RPD的转换效率较PVD高0.6%以上(工艺原理决定)，这一转换效率差将导致HJT制造企业竞争力的巨大差距。如果说PECVD是异质结设备竞争的门票，那么TCO设备有望成为HJT设备竞争的
PVD5000片/H以上的产能，因此早期1台PVD可以顶4台RPD。但是随着捷佳伟创实现RPD国产化后并将设备产能提升至5500片/H，同时采用PAR一体机方式将2台RPD整合为1台，RPD设备成本大幅
理想万里晖PECVD设备为例，目前已升级至第三代，设备产能达500MW/年。据该公司透露，理想万里晖生产产业链已从异质结最初的核心PECVD设备延伸至PVD设备、自动化、整线集成及交钥匙服务，量产效率
，设备产能达500MW/年。据该公司透露，理想万里晖生产产业链已从异质结最初的核心PECVD设备延伸至PVD设备、自动化、整线集成及交钥匙服务，量产效率大于24.5%，并累计获得了异质结客户10家
、迈为股份、钧石、理想万里晖、金辰股份均在PECVD有布局，但技术的细节方向上有所不同。
►透明导电膜沉积：我们估计该阶段的设备价值量占比达到25%。目前沉积TCO存在RPD(反应等离子体沉积)和PVD
(物理化学气相沉积)两种路线。RPD与PVD的区别在于：1)RPD工艺采用蒸发镀膜法制备IWO导电薄膜(氧化铟掺钨)，对硅衬底的轰击较小，薄膜导电性好，有望制备更高效率的电池，但缺点在于设备价值量更高
