PVD设备
TOPCon电池技术和工艺路线。据了解，相比传统工艺路线，山西中来光能新一代工艺路线具有两大核心优势：●一是固定投资少。山西中来光能新一代工艺路线将几道工序高度集成，极大地减少了建设投资、设备投资和能耗投资
。●二是产品良品率和效率更高。山西中来光能J-TOPCon
2.0采用板式PVD技术沉积poly层，不存在绕镀问题，制造成本更低，良品率更高，无漏电保证用户安全。转换效率高达26.7%的n型
科民电子设备技术有限公司、江苏迪塔镁克科技有限公司就钙钛矿/异质结叠层太阳电池设备采购举行签约仪式，签订了钙钛矿/异质结实验线用PVD、ALD、涂布设备采购协议。此次合作，是宝馨科技与产业链多方携手
、立式旋转腔PVD镀膜设备等电池工艺设备模型来到现场，展示前沿电池装备创新工艺。大面积多源团簇式蒸镀机◇ 团簇式布局，精密对位◇ 钙钛矿材料共蒸程序内置◇ 旋转升降温控基板HJT制绒清洗机◇ 快速平稳
干法刻蚀机。围绕HJT电池领域，自主研制了平板PECVD、平板PVD设备，以及应用于钙钛矿电池的原子层沉积设备、连续式磁控溅射设备，以高端装备持续为行业发展赋能。打造“中国方案”，迈向“零碳未来”与土耳其
干法刻蚀机。围绕HJT电池领域，自主研制了平板PECVD、平板PVD设备，以及应用于钙钛矿电池的原子层沉积设备、连续式磁控溅射设备，以高端装备持续为行业发展赋能。打造“中国方案”，迈向“零碳未来”与土耳其
推出铜栅线异质结电池(C-HJT)技术。其中，国电投新能源公司的铜电镀栅线制备工艺，在PVD后增加镀铜腔体即可完成种子层制备，无需增加额外PVD设备。超窄铜栅线电镀工艺实现了20微米线宽的量产工艺，比银
核心技术突破和装备国产化，自主开发的PVD和ALD设备已批量交付于光伏龙头企业、中央研究院和多个研发中心的产线，在钙钛矿电子传输层、空穴传输层、钝化层、缓冲层等膜层制备上已取得了突破性进展，技术实力
将作题为“TOPCon电池SiO2+POLY解决方案及应用”的主题演讲，产品研发主任彭宜昌将分享“钙钛矿/叠层电池关键镀膜设备应用与量产探讨”。会议介绍2023年首届n型光伏技术创新大会，将于5月22
光电瞄准前沿，积极研发HJT高效电池装备，深度布局钙钛矿电池工艺路线，核心工艺技术取得重大突破，开发了低阻高透TCO
复合薄膜、旋转磁控阴极等技术，推出了大产能异质结专用PVD设备;推出的系列高端装备
及压升率一系列关键技术指标，自创快速冷却技术和柔性炉门专利技术，构建了独特的设备特色，研制了技术水平和量产效果引领行业的新一代大产能低压硼扩散设备，是其在TOPCon赛道继单项冠军PECVD之后获得
、通威股份、东方日升等。多家机构认为，钙钛矿产业化进程持续加速，未来2-3年各企业百兆瓦中试线及GW级量产线有望加速落地，PVD/RPD设备、激光设备厂商、TCO玻璃等环节将显著受益。
，其中发明专利34件，在国内各大核心期刊发表论文23篇。此外，工程中心通过核心技术攻关，形成了系列创新产品，包括立式硼扩散设备、等离子体增强隧穿氧化和Poly生长设备、国内首款超大产能异质结专用PVD
