PVD设备
，通过PVD(物理气相沉积，通常为磁控溅射技术)镀膜，然后冷却、刻蚀，完成镀膜。FTO在线镀膜技术比较成熟，设备价格较贵;ITO和
AZO 通常离线镀膜，磁控溅射技术十分成熟。叠层钙钛矿电池结构连续
层的优势需要被重视✓ 预计2022 年中国真空镀膜设备行业市场规模达到592 亿元钙钛矿：光伏领域0-1 的颠覆性技术优点1：带隙可调带来更高的理论转化效率优点2：原料易获取、工序简单带来成本降低溶液
水平。公司在PVD、CVD(PECVD、LPCVD等)和ALD原子层沉积等真空镀膜设备上拥有先进技术和高端装备制造经验。早在2019年11月份，捷造光电就曾宣布公司异质结电池效率达到25.11%。捷造
技术在全球领先，为我县光伏龙头企业提供了有力的设备支撑。同时，该企业在梅林街道九顷区块的年产10GW高效异质结光伏电池产线装备项目顺利开工，其中一期项目占地72亩，主要建设1号、2号两栋各4万多平方米
HJT的产业化发展。公司在湿法设备、PECVD/CAT-CVD、PVD/RPD/PAR、丝网印刷/铜电镀/新型组件焊接设备方面进行深入研究，具备HJT电池整线交钥匙工程的能力。公司近期已中标全球头部
TOPCon的核心工序，工艺路线大致分为LPCVD本征+磷扩、PECVD原位掺杂、PVD原位掺杂等。异质结电池生产流程包括材料选择、基片准备、硅片切割、链式清洗、链式吸杂、清洗制绒、PEVCD镀膜
、PVD镀膜、丝网印刷、测试分选和包装入库等步骤。其中，PEVCD镀膜和PVD镀膜是关键步骤，分别用于沉积本征非晶硅薄膜和掺杂非晶硅薄膜，以及沉积TCO透明导电氧化薄膜。由于TOPCon电池的生产流程相对
双面微晶异质结电池工厂——宣城三期的首批182电池出片最高效率便突破了25%，较宣城二期首批单面微晶210异质结电池提效近0.5%。基于宣城三期四个月以来的量产经验，宣城四期在清洗制绒、PVD、CVD
、丝网印刷等各环节均进行了工艺改良与设备升级，使得首次出片的电池效率成功跨越25.5%大关，达到了突破性的25.58%。这不仅刷新了宣城三期首批电池的效率纪录，也创下了业内异质结电池的投产效率新高
近日，金辰可再生能源实验室产业化异质结(HJT)电池转换效率达到 25.35%，达到行业先进水平。金辰可再生能源实验室，使用公司自研的大腔体PECVD及PVD设备，建立异质结(HJT)太阳电池
%!(CNAS资质中国科学院电工所认证)达到国内先进水平。在使用单面微晶工艺的同时，金辰实验室还将导入双面微晶工艺，电池转换效率能有望突破25.5%!金辰股份以PECVD和PVD真空镀膜设备为核心，为客户提供
、光学镀膜等产品的生产。此外，它也被应用在异质结电池制程的第三个环节，即通过PVD设备，利用磁控溅射原理，将靶材(ITO)沉积到硅片表面，制备双面一致的透明导电膜(TCO)。然而，作为一种稀有金属，铟的
“降铟三部曲”：一、设备优化降铟对于异质结电池的PVD设备，迈为从研发设计之初就重视靶材单耗的降低。通过对溅射单元的不断优化，目前迈为的最新设备对于100%铟基靶材的理论单耗已从近20mg/W降至
层设备产业化项目，项目建设周期拟定为2.5年，项目建成完全达产后可实现年产160台磁控溅射镀膜设备(PVD)、119台反应式等离子镀膜设备(RPD)及60台真空蒸镀设备(MAR)。钙钛矿电池以其高效率
企业的明智之选。从投资前景来看，随着产业规模不断扩大，和电镀铜相关的设备产线投资成本将持续降低，设备市场规模将不断扩大。现有图像化环节PVD投资额高达4000-5000万元/GW，曝光机设备为5000
HJT 电池 4 道工序中的核心 设备、光伏组件及光伏自动化设备，具体包括制绒清洗机、PECVD、PVD、丝网印刷 机、串焊机、自动化设备，助力公司逐步突破 HJT 电池生产设备的核心技术，完善公 司
