PVD设备

企业已经在引进进口线，行业先驱已经在行动了。 具体来讲，HIT主要生产工序有4步，对应4种专业设备，依次是清洗制绒机、PECVD、PVD/RPD、丝网印刷机。其中壁垒最高的是PECVD，海外梅耶博格和
成熟，YAC目前也在推进中国本土制造，国产捷佳伟创正在积极研发，已经有数台机器出货。PVD国内宏大和红太阳有出货，丝网印刷机迈为等已经做的非常成熟，捷佳伟创、金辰股份也有供货能力。当前1GW进口设备价格

良好、基本无光衰、双面率高等多方面优点。近期随着试验产品转换效率逐步提升及制造设备降成本取得一定进展，产业内对HJT电池产线的投资热情逐步提高，目前全球已有约5GW量产与试验产能。 高转换效率与强
成本下降至0.4-0.5元/W的临界范围时，其相对于目前主流单晶PERC电池的性价比优势有望逐步显现，从而有望实现对主流路线的替代，行业产能或复制单晶PERC路线的扩张进程。电池设备方面推荐迈为股份

核心设备为CVD+PVD HJT电池的一大优势是工艺简单，仅包括制绒、非晶硅沉积、TCO沉积、丝网印刷四步，而PERC电池为了达到较高的转换效率，除了传统工艺流程外还要增加退火等工艺，复杂的工艺
也陆续推出CVD新产品，现阶段仍在试验中。 TCO镀膜设备：RPD设备商包括日本住友、台湾精耀，PVD设备商包括梅耶博格、应用材料、冯阿登纳、国内钧石等。 现阶段采用PVD方式成膜的企业较多，主要

可以做到与170-180um的P型硅片相同的价格，未来N型成本下降空间较大。 问题四：设备有哪些革新，空间多大?HJT设备包括制绒清洗设备(捷佳、YAC)CVD(爱发科、理想、钧石、迈为、捷佳)PVD

、TCO膜沉积是HJT生产核心步骤，PECVD和PVD国产化、规模化将推动降本。HJT电池生产设备与常规电池的兼容性较差，新建项目需要重新投入生产线。制造工艺流程主要包括：清洗制绒、非晶硅薄膜沉积
、TCO膜沉积、电极金属化。当前，HJT单GW设备投资额大约为8-10个亿，大概是PERC投资的2.5-3倍左右，未来设备国产化后，设备投资将逐步减少40%以上，有望降低至5-6亿元;如果进一步规模化，降低

，镀釉，光伏LED产品已经全面推向市场。 瑞科官网显示，其光伏研发中心位于美国硅谷，毗邻全球领先光伏巨头，具有丰富的资源优势。瑞科已研制出拥有自主知识产权的核心真空镀膜设备，其中GVD、PVD
-2018年，龙焱先后引入浙能创投和深圳致远两家省级国资背景股东。值得注意的是，目前龙焱的产能虽然只有120MW，但其光伏制造设备却全部实现了国产化，原材料也全部来自国内。这不仅大大降低了碲化镉组件制造

，HIT电池设备的单机产能相对较低，清洗机、PVD、丝网印刷机单机产能大约在200MW/台左右，PECVD只有100MW/台左右的产能。单机产能低是目前HIT电池投资较高的主要原因之一。 通过做大
单机产能，其成本提升相对较低，能够有效降低设备成本。例如，VonArdenne公司的PVD设备，单机产能从160MW/台提升至250MW/台，产能提升56.3%，售价仅提升12.5%，单位投资额降低

、PECVD、PVD/RPD、丝网印刷机。其中壁垒最高的是PECVD，海外梅耶博格和应用材料的设备比较成熟，但价格比较昂贵;国内钧石和理想有供货能力。清洗制绒机目前日本YAC比较成熟，YAC目前也在推进
中国本土制造，国产捷佳伟创正在积极研发，已经有数台机器出货。PVD国内宏大和红太阳有出货，丝网印刷机迈为等已经做的非常成熟。 回顾光伏产业发展历史，往往是头部企业引进国外成熟设备

成本，现在正在考虑使用称为狗骨靶材的新材料。这种靶材可以降低靶材消耗，从而进一步降低电池生产成本。我们已经做了一些额外的改进工作，其中包括对物理气相沉积(PVD)托盘进行优化，同时修改接触电极网格的设计以
)。在关闭薄膜生产线后不到两年的时间内，平均电池效率达到了22.8%(最高效率超过23.5%)，使大规模平均60片组件功率提升到318W(最大组件功率甚至达到328W)。 致谢 作者希望感谢他们的设备供应商对Hevel生产线设备给予的支持，以及Skolkovo基金会对使用其实验室设备的资助。

则在研发层面对多种技术路线保持跟踪，尚未有建立中试线的计划。 以捷佳伟创、迈为、金辰为代表的国内设备厂商在积极研发相关设备并取得一定进展，清洗制绒、PVD/RPD、丝网印刷都已突破，PECVD