PVD设备
HELiA PECVD 及沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜(TCO)的HELiA PVD 设备来说，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤
实现薄膜沉积。PVD 技术的优势在于设备成本较低，成膜均匀性更好，镀膜工艺稳定，能 够满足大规模产业化需求，但由于等离子体中包含大量高能粒子，会对基板表面产生强烈的轰击刻蚀作用。而 RPD 技术的
，RPD 方 法还具备低沉积温度、高速生长等优点，缺点在于设备成本较高。
PVD 为当前 HIT 主流方向，成本下降后 RPD 优势有望显现。从效率上看，RPD 效率相比使用 ITO
凭借强大创新力、出色的品质与服务、卓越的品牌影响力，撷取最具影响力设备企业大奖。
本届盛典邀请了中国光伏行业协会秘书长王勃华、原国家发改委能源研所原研究员王斯成、中山大学教授沈辉、工信部中国绿色
内口碑，充分听取各领域专家、学者意见，并广泛调研行业上下游反馈。
获奖企业介绍
北京捷造光电技术有限公司成立于2010年，致力于真空应用技术的开发与产业化推广，在PVD(磁控溅射、有机及金属共蒸发
PECVD、PVD等核心生产设备，是全球仅有的几家掌握高效异质结太阳能电池技术(HDT)的企业之一，公司自主研发的HDT电池具有转换效率高、双面发电、高温特性好等特点，深受客户好评，具有广阔的未来发展前景。
异质结是光伏行业的第五次技术革命。相较于传统电池，异质结电池生产工艺步骤大幅减少，主要工艺仅4步，分别为制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备，对应设备为制绒机、HWCVD/PECVD
、PVD/RPD、丝网印刷+烧结炉。
异质结电池优势
◼ 最简洁4步工艺流程
◼ 最高转换效率
◼ 最低温度系数
◼ 最佳双面效益
◼ 无光致衰减(LID)
◼ 无电位衰减(PID
技术路线并进。TCO 沉积在异质结电池沉积工艺的后半部分，通过沉积 TCO 膜作为减反层和横向输运载流子至电极的导电层。一般 TCO 沉积在 PVD 设备中通过溅射的方式完成。捷佳伟创和 Archers
则选择的是反应等离子RPD 技术路线。RPD 和双面进行薄膜沉积的 PVD 技术路线相比，采用自下而上的单侧沉积技术，关键设备是等离子枪。
多厂商前期布局，量产转换效率突破
平台表示，目前公司全资子公司上海北玻镀膜技术工业有限公司(以下简称北玻镀膜)具备制造符合HIT工艺的PVD镀膜设备能力，该项目尚处于开发阶段。
鉴于特斯拉的鲶鱼效应，投资者的热情就此爆发。2月12日
相关专利技术、最近两年研发投入、研发人员数量、营收及净利润等说明北玻镀膜具备制造符合HIT工艺的PVD镀膜设备能力的依据、项目的进展情况、后续研发情况、是否具备投产能力，并充分提示风险。
回复函中，北
。需要从非晶硅界面钝化、TCO 光吸收损失、金属化电阻损耗三方面进行努力，对应的工艺流程为 CVD、PVD、丝印三个步骤。这个三大难点克服，不仅仅是工艺的问题，还涉及到设备和材料的配套和改进
，这种透光导电膜设备设计独特，相对传统的 PVD 设备具有表面损伤少、 载子迁移速度高等技术优势，对于 HJT(异质结)电池转换效率的提升具有较 大的贡献。RPD设备应用广泛，除应用于 HJT
要求北玻股份结合北玻镀膜的基本情况、财务指标以及研发实力，说明北玻镀膜具备制造符合HIT工艺的PVD镀膜设备能力的依据，项目进展情况，后续研发情况，是否具备投产能力，并充分提示风险。
2月19日
投资者时称，目前公司全资子公司上海北玻镀膜技术工业有限公司(以下简称北玻镀膜)具备制造符合HIT工艺的PVD镀膜设备能力，该项目尚处于开发阶段。公司管理部对此表示高度关注，要求北玻股份认真核查以下事项并
光伏电池生产技术。
此外，北玻股份(证券代码：002613.SZ) 1月9日在互动平台上表示，HIT主要生产工序有4步，对应4种专业设备，依次是清洗制绒机、PECVD、PVD、丝网印刷机。公司全资
子公司上海北玻镀膜技术工业有限公司具备制造符合HIT工艺的PVD镀膜设备能力，该设备应用于ITO双面镀膜，不过目前该项目尚处于开发阶段。
