Azur SSP,并由它准备商业化生产。ISE和Azur SSP使用AIXTRON Planetary作为开发和生产工具,而LayTec的EpiCurveTT 已经成为MOCVD设备的最佳配件用来
50MW,DOE股及到2012年输出量能达到250MW。
另:Spectrolab日前向Veeco订购多套MOCVD设备,生产砷化物和磷化物半导体系统。
Spire Semiconductor赢得美国政府的资金,重新设计化合物半导体电池,努力削减成本并提高效率。MicroLinkDevices表示它利用MOCVD技术和一些独特的工艺步骤
50MW,DOE股及到2012年输出量能达到250MW。 另:Spectrolab日前向Veeco订购多套MOCVD设备,生产砷化物和磷化物半导体系统。
Spire Semiconductor赢得美国政府的资金,重新设计化合物半导体电池,努力削减成本并提高效率。Microlink Devices表示它利用MOCVD技术和一些独特的工艺步骤
采用有机金属气相外延(MOCVD)的办法,在锗的基底上生长多层外延层。即使大规模生产,也没有原材料短缺的问题。 1厘米见方的砷化镓聚光太阳能电池在500倍聚光下等效于7张12.5厘米见方的硅光电池
。无论从制造的设备成本, 还是材料成本,都较其他成熟的技术方案更具优势,$/W上更接近于每瓦一美元的建造电站的目标价格。 市场: 优势凸现, 订单井喷 目前专业制作砷化镓聚光电池的工厂有
设备有助于他们降低10倍的单芯片成本,这对持续获取光伏电池市场的份额至关重要。 Veeco MOCVD部门副总Sam DiRenzo表示,M-Com的此次订购是个很好的例子,这说明E450有能力制造
黄光高亮度LED、激光二极管等。 附记 据本月8日的最新消息,Veeco宣布台湾的新世纪光电(GPI)已经收到多套TurboDisc K系列GaN MOCVD系统。这些设备对增加GPI的
Epitaxy)设备,在硅基板上沉积化合物半导体单晶层,但材料的确实成份却是个不能说的秘密。Kleiman透露该秘密材料并非砷化镓,因为其1.45eV的能隙不足以在双接面组件中提供最佳转换效率
太多成本。然而他也坦承,分子束外延对于讲究高产量与低成本的应用并非理想的方法,因此计划后期将致力于将此技术转化成可量产的制程,例如有机金属化学气相沉积技术(MOCVD),并且希望在三年内将这项技术由实验室转移至生产线。
八研究所副所长王俊朝介绍说:“这两年,我们在研发方面以IC设备为主攻方向,继2006年我们攻下8英寸0.1μm离子注入机后,接下来会往更高端研发。对于LED领域的MOCVD设备,我们正在研发30片级用于
备CdS薄膜,其方法主要是将含有3和Cd的化合物水溶液,用喷涂设备喷涂到玻璃或具有SnO2导电膜的玻璃及其它材料的衬底上,经热分解沉积成CdS薄膜。
各国不同学者采用的工艺都基于如下热分解效应
制备Cd1-XZnXS来代替CdS,以改善小层的电子亲和力和降低界面态数目。
由于喷涂法制备Cu2S/CdS(Cu2S/Cd1-XZnXS)薄膜太阳电池,不采用真空设备,使工艺得到简化