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MEMS
能力的高端传感器开发，重点发展新型微机电系统(MEMS)传感器和智能传感器，突破微型化、智能化的电声器件和图像传感器件。(五)推动硅能源数字化发展围绕可再生能源消纳、多能融合、需求侧智能响应以及制造业
节能认证。推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于MEMS(微机电系统)技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品(组件)、智能工控系统以及
内，成功开发出用于光伏、柔性电子、半导体、LED和MEMS等工业的ALD和RIE产业化设备，产品具有国际先进水平。 微导的使命是通过尖端技术和不断创新促成我们客户的先进产品和市场先机。 值得注意的
(MEMS)工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，推动新型传感器科技成果转化。中游重点加强物联网通信模组、终端的产业化引导支持，大力引导和支持省内企业物联网无线通信模组、物联网智能终端研发
在智慧城市、智能制造、现代农业等方面的应用创新。上游重点扶持和培育各类智能传感器设计、制造和封装产业化，加强智能传感器核心芯片，特别是基于微机电系统(MEMS)工艺的芯片，以及芯片配套的算法和驱动程序
互联加工方式。与硅相比，玻璃材质具有高频电学特性优良、机械稳定性强、成本低、幅面不受限等优异特性，因此TGV技术被广泛应用于射频组件、光电器件、MEMS器件等特殊应用场景。 随着玻璃薄片化，传统的玻璃
和雄厚的产业化资源，在短时间内，成功开发出用于光伏、柔性电子、半导体、LED和MEMS等工业的ALD和RIE产业化设备，产品具有国际先进水平。 微导的使命是通过尖端技术和不断创新促成我们客户的先进产品和市场先机。
向全球市场营销。特别是IGBT里面，中环在中国是2家或者是2家半有能力向IGBT制造商提供产能的半导体材料商之一。8英寸产品价值链中，中环8英寸产品围绕着测试片和正片，MEMS、IGBT中环是全覆盖的
, 并为新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等多个工业领域的产业化生产提供整体解决方案。微导在短时间内，成功开发出用于光伏、柔性电子、半导体、LED和MEMS等工业的ALD和RIE产业化设备，产品具有国际先进水平。 微导的使命是通过尖端技术和不断创新促成我们客户的先进产品和市场先机。
比较多，解决实际问题的比较少;传感器及通信层面的标准不统一。
近年来，物联网技术与标准取得了进步。MEMS传感器是物联网的关键技术之一。智能传感器MEMS(Micro Electro
Mechanical Systems)是建立在微米、纳米基础之上的整合无线技术、传感器和电路，主要采用硅的微加工技术和系统级芯片的集成技术。MEMS工艺技术是各种类型传感器的共性基础工艺技术，目前主要是围绕不同
