ALD设备
依然存在：首先在氧化铝沉积设备上，梅耶伯格的板式PECVD可谓一家独大，然而其维护成本高，TMA消耗量大，同时薄膜质量提升空间较小;而ALD设备目前呈现百家争鸣的态势，国内设备厂商也强势加入战局，然而
索比光伏网讯:隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积（ALD）技术
时间以后，江苏微导的原子层沉积设备终于完善了批量生产的各项指标，进入到了大规模量产的阶段。截至八月,微导已开始交付第一批10台以上订单为客户进行生产。同时，微导的双面钝化技术也引起了PERC市场的强烈
隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积(ALD)技术，在不到一年的
，江苏微导的原子层沉积设备终于完善了批量生产的各项指标，进入到了大规模量产的阶段。截至八月, 微导已开始交付第一批10台以上订单为客户进行生产。同时，微导的双面钝化技术也引起了PERC市场的强烈关注
索比光伏网讯: 隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积(ALD)技术
时间以后，江苏微导的原子层沉积设备终于完善了批量生产的各项指标，进入到了大规模量产的阶段。截至八月, 微导已开始交付第一批10台以上订单为客户进行生产。同时，微导的双面钝化技术也引起了PERC市场的
、2之间无隔离缓冲腔体，可一次完成正面朝上或正面朝下PERC电池3层镀膜。新设备减少了硅片上下片次数，提高生产效率。理想能源开发出原子层沉积（ALD）法的AlOx膜沉积设备，采用托盘方式传输电池硅片
SIN工艺腔1、2之间无隔离缓冲腔体，可一次完成正面朝上或正面朝下PERC电池3层镀膜。新设备减少了硅片上下片次数，提高生产效率。理想能源开发出原子层沉积（ALD）法的AlOx膜沉积设备，采用托盘方式
新型晶体硅太阳电池
1常规设备的改进
2常规BSF电池的关键技术：黑硅技术
表3：金刚线切割多晶硅片的常规织绒技术还未解决
单晶硅电池与多晶硅电池的差距在缩小
镀膜技术
根据Plasma的产生方式，又可以分为电感耦合等离子体增强ALD(ICP-ALD)、电容耦合等离子体增强ALD(CCP-ALD)及微波等离子体增强ALD(MWP-ALD
国外的设备大厂如ASM、AMAT、TEL等垄断。微导正在开展的ALD设备产品技术性能达到国际领先水平，填补了国内空白。同时，ALD关键技术的成功攻关，将促进多个工业领域包括半导体、CMOS图像传感器
有限公司将首次亮相SNEC上海国际光伏展，并进行ALD和RIE设备的产品发布。欢迎客户前来洽谈咨询。
地址：上海新国际博览中心
展位号:E4-390
FR：微导官网
切片+黑硅技术在多晶领域的推广，组件价格会出现显著下降。
隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司是一家年轻的科技公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠、使用成本最低的生产设备和解
高性能ALD钝化和RIE干法制绒生产解决方案。微导RIE黑硅与ALD背钝化技术的结合，为晶硅太阳能电池效率突破、降低成本提供最佳量产方案。4月19-21日，江苏微导纳米装备科技有限公司将首次亮相SNEC上海国际光伏展，并进行ALD和RIE设备的产品发布。欢迎客户前来洽谈咨询。
