ALD设备

是在纳米技术领域及其它多个重要产业领域中的一项具有前瞻与共性的新兴关键技术。现有的ALD量产技术都被国外的设备大厂如ASM、AMAT、TEL等垄断。微导正在开展的ALD设备产品技术性能达到国际领先水平

设备可以为苹果、华为等高端智能手机进行测试。同时，无锡先导投资发展有限公司正在与新吴区旺庄街道洽谈基于原子层沉积技术的ALD微纳器件制造项目及云计算数据中心项目。该项目拟用地面积200亩，总投资25
签约奠基仪式。经过十几年的发展转型，无锡先导已经成为国际最大的锂电池高端装备制造商。随着新能源汽车和动力锂电池需求的不断爆发，先导的新一代锂电池专用设备处于供不应求的状态，产能提升遇到瓶颈，此次奠基

索比光伏网讯:近日，全球太阳能光伏、半导体及LED市场生产设备及相关用品供应商Amtech Systems公司宣布旗下太阳能子公司SoLayTec已获得三套PERC太阳能电池新一代ALD系统后续
订单。 Amtech获PERC太阳能电池ALD系统后续订单该订单来自亚洲的太阳能电池制造商，预计在未来六个月内发货。Amtech首席执行官兼总裁Fokko Pentinga评论表示：这一最新订单表明

索比光伏网讯:专业光伏制造设备供应商Amtech Systems(NASDAQ:ASYS)获得此前几个季度订单的支持，2016年第三财季太阳能设备销售额达三千八百三十万美元，创下新的季度纪录
Fokko Pentinga先生评论道：该季度，我们在扩大我们提供服务的市场方面取得了巨大进展，成功推出我们的新一代PECVD和ALD系统，其中包括在世界最大的太阳能展会、上海新能源行业协会(SNEC)上

%（Voc=699mV，Jsc=41.3mA/cm2，FF=80.5%），电池结构如图6所示。基体材料为N型CZ单晶硅，正面通过离子注入形成硼掺杂p+发射结，正面采用ALD工艺沉积Al2O3钝化层钝化
玻璃后经热扩散形成P型发散结，再采用ALD沉积Al2O3钝化p+发射结以降低表面复合速率。与Fraunhofer的N型PERL电池背面结构不同的是，除了在电极下局部重掺形成LBSF，以有效地降低背面

平板式PECVD、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ALD）等关键工艺设备研发领域均有入围。《产业关键共性技术发展指南（2015年）》指出，产业关键共性技术是能够在多个行业或领域广泛应用，并对

，从而降低表面复合速率。不过AlOx的使用也需要伴随这工艺的改进和设备的进步，例如解决高速沉积AlOx的问题，氧化铝本身的不稳定性以及良品率较低等问题。 钝化接触，第三次进化? PERC以及
发现当氧化层厚度超过2nm后，其隧穿效应就开始显著下降，影响填充因子。 具体到电池工艺方面，Fraunhofer ISE采用n型FZ硅片，正面采用普通金字塔制绒，硼扩散，ALD氧化铝加PECVD

Singlus、Levitech、Solaytec、ASM等各种设备，而是选择采用成功量产的厂商所选用的机台，使Meyer Burger成为这波扩厂热潮中最大的赢家。但受限于MeyerBurger机台
供不应求，今年PREC全球产能不至于剧烈提升。展望明年，除了主流机台仍旧订单满载之外，无法顺利购得机台的厂商为了不失去竞争力也会再做更多尝试，届时除了用PECVD镀氧化铝之外，也会有厂商选用ALD技术

，届时除了用PECVD镀氧化铝之外，也会有厂商选用ALD技术，或是不愿冒机台风险的厂商可能会重新评估采用长兴材料集团的方式：以现有设备搭配独特氧化铝浆料的方式呈现PERC的效果，这都将让PECVD不再
扩产不若2014年各间厂商对Centrotherm改机，或尝试Singlus、Levitech、Solaytec、ASM等各种设备，而是选择采用成功量产的厂商所选用的机台，使MeyerBurger成为这

尝试Singlus、Levitech、Solaytec、ASM等各种设备，而是选择采用成功量产的厂商所选用的机台，使MeyerBurger成为这波扩厂热潮中最大的赢家。但受限于MeyerBurger
机台供不应求，今年PREC全球产能不至于剧烈提升。展望明年，除了主流机台仍旧订单满载之外，无法顺利购得机台的厂商为了不失去竞争力也会再做更多尝试，届时除了用PECVD镀氧化铝之外，也会有厂商选用ALD