ALD设备

互利共赢、优势互补的原则，加强产学研协同攻关，在宽禁带技术领域进行如下四项具体合作研究：一是双方联合开展高温MOCVD设备的设计、制造、产业化和应用研究；二是双方联合开展ALD（原子层淀积）设备

受限于正面导电银浆技术的发展，各类型镀膜工艺并未取得一致性的效率和量产性，这阻碍了PERC技术的大规模快速量产和产线设计的灵活性。特别是基于加工时间式ALD双面氧化铝钝化工艺，由于设备自身特点，除了在
展览会（PV Taiwan 2017）期间宣布推出全新一代DK92正银技术平台，率先兼容包括双面氧化铝钝化在内的各类PERC背钝化镀膜技术与工艺，包括原子层沉积ALD（包括空间区隔式ALD、基于加工

部分市场份额被新兴的中国竞争对手侵蚀的欧洲厂商。Roth & Rau, Manz, ALD-Vacuum, and PVA-TePla 在2011年光伏设备的总营收预计较2008年下滑超过50%。绝大多数
索比光伏网讯:中国设备厂商进一步扩大市场份额2013年之前光伏厂商将重视保存现金而推迟技术采购周期Solarbuzz上海办公室，2012年1月19日最新出版的NPD Solarbuzz 光伏设备

领先612个月。靳保芳说这得益于企业建立健全了创新投入保障机制。晶龙每年拿出不低于销售收入5%的资金作为创新投入，进行技术研发、设备技改等，即使在资金最困难的时期，也没有消减过科技创新投入。注重
世界一流的研发设备，从不同的产业环节开展科技创新。晶龙光伏新能源创新团队被省委、省政府命名为河北省20个高层次创新团队之一，在全省科技创新大会上受到隆重表彰。卓越产品销往全球 纵横驰骋：供货一带一路65

。在光伏行业，先导和协鑫、隆基、天合、晶科、阿特斯、晶澳等公司建立战略合作伙伴关系。先导的ALD背钝化设备、RIE干法黑硅设备、MBB多栅串焊机达到了全球领先的水平。结合先导自主研发的MES系统，可为

性价比最高、对环境更加友好的金刚线多晶提效降本解决方案。江苏微导纳米装备科技有限公司针对光伏市场开发的夸父系列原子层沉积（ALD）设备已经陆续交付客户并投入生产，N型双面电池的量产效率稳定保持在22%以上
%。到目前为止制绒添加剂技术、干法黑硅技术和湿法黑硅技术等都可以解决金刚线切割的多晶硅片反射率高，制绒困难的问题。多晶制绒添加剂技术不改变原有设备，增加专用添加剂，可以将金刚线多晶硅片反射率降低至接近常规

、分布式能源、储能、能源互联网以及新能源汽车、充电桩等产品及业务。届时将有200余家国内外知名光伏企业参展、预计十万人次观展。先导智能作为国际领先的光伏组件设备解决方案提供商，将携带最新研发的光伏设备亮相
本届展会。与此同时，11月3日下午2：30先导集团旗下先导智能和微导纳米，将在无锡君来世尊酒店二楼12号会议室召开新产品说明会，就最新型的MBB串焊机、半片串焊机、光伏组件整线解决方案、背钝化设备

单晶硅，正面通过离子注入形成硼掺杂p+发射结，正面采用ALD工艺沉积Al2O3钝化层钝化发射结降低表面复合速率，再用PECVD沉积SiNx形成减反膜。正面光刻工艺开槽后用蒸镀方法形成Ti/Pb/Ag
，FF=80.5%），电池结构如图8所示。其正面发射结利用APCVD的方法沉积硼硅玻璃后经热扩散形成P型发散结，再采用ALD沉积Al2O3钝化p+发射结以降低表面复合速率。与Fraunhofer的N型