ALD设备

国内某司)控制在20-25nm，ALD模式(主要厂家有Solay Tec、Levitech、NCD、Ideal Energy、Lead Micro等)控制在3-9nm。厚度的不同导致使用关键化学品
5. PECVD和ALD不同模式TMA的耗量(数据来源Taiyang News 2017) PERC电池制作另一关键工序是激光开窗，通过激光热熔方法把背面需要形成铝硅合金接触的区域上面的氧化铝和

自动焊接机、叠瓦组件成套设备、AGV、MES系统及原子层沉积(ALD)钝化设备等在内的多款新产品和解决方案，吸引了包括隆基、协鑫、阿特斯、通威、天合、中来等众多全球知名光伏企业的关注。 先导的L
展位号：E6-380 深圳茂硕电气有限公司由茂硕电源科技股份有限公司投资控股，专注于太阳能光伏发电设备、以及新能源充电系统的研发、制造和销售，致力于提供高效率、高功密度、高可靠性的

沉积(ALD)钝化设备等在内的多款新产品和解决方案，吸引了包括隆基、协鑫、阿特斯、通威、天合、中来等众多全球知名光伏企业的关注。 先导的LDTH2400MBB多栅串焊机在国内首创红外焊接多栅
设备核心软、硬件，提供一体化的产品设计、集成与安装服务，同时配合一体化的控制和智能运维系统，以达成最佳的系统配合。该解决方案将为业主和开发商提供高可靠的系统解决方案和有保障的高发

新品发布会，隆重推出包括最新型MBB多栅串焊机、汇流条自动焊接机、叠瓦组件成套设备、AGV、MES系统及原子层沉积(ALD)钝化设备等在内的多款新产品和解决方案，吸引了包括隆基、协鑫、阿特斯、通威、天合

采用首创的线式连续生产工艺以及配套设备制备而成。 此外，展台以【星空下的七彩之光】为主题，璀璨星空下，用五彩缤纷点缀你的美好夏天!(展位号：N2-315) 大海光伏
根焊带焊接成串，并把焊接好的电池片串分类收集的设备。业内首次实现了12BB多栅电池片的高速量产，最高可实现16BB多栅电池焊接，取得最高2400片/小时的量产速度，独有的焊带处理及定位机构，能够保证主

LPCVD设备，能很好地与目前量产工艺兼容，便于产线升级。同时掺杂多晶硅层良好的钝化特性以及背面金属接触结构具有进一步提升转换效率的空间，可提升0.8～1.0%左右的电池转化效率。 图4
TOPCon结构的TEM截面图和隧穿效应示意图 ALD AlOx技术 采用先进的原子层沉积Atomic Layer Deposition(ALD)三氧化二铝(Al2O3)方法来钝化电池前表面

，先导和协鑫、隆基、天合、晶科、阿特斯、晶澳等公司建立战略合作伙伴关系。先导的ALD背钝化设备、RIE干法黑硅设备、MBB多栅串焊机达到了全球领先的水平。结合先导自主研发的MES系统，可为光伏企业打造

、晶澳等公司建立战略合作伙伴关系。先导的ALD背钝化设备、RIE干法黑硅设备、MBB多栅串焊机达到了全球领先的水平。结合先导自主研发的MES系统，可为光伏企业打造“无人车间”。 刘汉元 2018年

近日，江苏微导接到光伏电池行业标杆企业的正式通知，为其高效PERC电池生产提供关键工艺技术-原子层沉积(ALD)钝化设备，这是国产光伏高端设备的全新突破，拉开了全球高效PERC电池生产的新篇章
! 夸父系列-原子层沉积镀膜系统(ALD) 2018年新年伊始，江苏微导接到光伏电池行业标杆企业的正式通知，为高效PERC电池生产提供关键工艺技术-原子层沉积(ALD)钝化设备，装机总量将满足