ALD设备
。
Fraunhofer研究所采用N型FZ硅片，正面采用普通金字塔制绒，硼扩散，等离子体辅助的原子层沉积(ALD)氧化铝与等离子体化学气相沉积(PECVD)氮化硅的叠层结构起到钝化和减反效果。背面
与叉指背接触(IBC)技术结合的新型结构电池、产业化核心设备以及关键辅助材料的研发。利用IBC结构前表面无金属栅线，绒面陷光结构充分地利用了入射光，背部与SHJ和TOPCon技术全钝化接触优势相结合
ALD技术，而隆基采用的是PECVD技术。晶科、REC也作出韩华的起诉缺乏法律依据和技术依据的类似回应。
事情的真相我们不予置评，但确确实实是一场由利益纠纷主导演化的专利纠纷。然而类似的事件并不罕见
。
正如此前在第四届异质结电池与装备产业化发展论坛上，来自中信建投证券股份有限公司电力设备与新能源行业的首席分析师王革先生所说：以前的贸易战主要针对的是价格，以后的贸易战则是争夺对技术的主导权。美国
ALD技术，而隆基采用的是PECVD技术。晶科、REC也作出韩华的起诉缺乏法律依据和技术依据的类似回应。
事情的真相我们不予置评，但确确实实是一场由利益纠纷主导演化的专利纠纷。然而类似的事件并不罕见
此前在第四届异质结电池与装备产业化发展论坛上，来自中信建投证券股份有限公司电力设备与新能源行业的首席分析师王革先生所说：以前的贸易战主要针对的是价格，以后的贸易战则是争夺对技术的主导权。美国
产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ALD技术，而隆基采用的是PECVD技术。
隆基方面的观点也得到了瑞士太阳能制造设备制造商梅耶博格(Meyer Burger)的认可。梅耶博格方面表示
：韩华声称基于使用原子层沉积(ALD)技术与隆基使用的PECVD技术并不相同，认同隆基声称的技术不受韩华指控的观点。
侵权专利疑似公共知识
所谓树大招风。
中国是世界最大的太阳能光伏生产国和
中表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ALD技术，而隆基采用的是PECVD技术。
隆基方面的观点也得到了瑞士太阳能(4.270, -0.01, -0.23%)制造设备制造商
梅耶博格(Meyer Burger)的认可。梅耶博格方面表示：韩华声称基于使用原子层沉积(ALD)技术与隆基使用的PECVD技术并不相同，认同隆基声称的技术不受韩华指控的观点。
侵权专利疑似公共知识
沉积(ALD)法，PECVD法与沉积SiNx薄膜的原理一致，主要反应气体为三甲基铝(TMA)。原子层沉积(ALD)方法是将不同气相前驱反应物交替地通入反应腔体，在沉积基底上化学吸附并反应形成薄膜的过程
，以自限制表面反应物的方式，将沉积过程控制在原子水平。ALD法沉积Al2O3的过程中，第一种前驱气体三甲基铝
(TMA)首先与硅片表面OH基团吸附并反应直至饱和，生成新的表面功能团，抽取剩余的TMA后
ALD原子层沉积设备（含自动化）
台
招标项目所在地区：山西
该项目已具备招标条件，现对该项目所需设备采购进行公开招标。
招标内容与范围：
采购内容：一
一.光伏技术升级催化新一轮产能建设，关注电池片设备投资机遇
1.新技术催生新产能，提效降本初衷不改
近年来，光伏产业化技术发展迅速，各个环节均有技术更新。例如，多晶硅料环节冷氢化技术
中历经多轮产业链各个环节的产能扩张，我们认为，这其中产业技术升级起到了重要的催化作用。
2.电池片产能扩张正当时，拉动设备市场需求超百亿
随着光伏系统建设成本的逐步降低，终端光伏市场
扩产高峰，也许还将延续到2020年，这对于设备厂商来说，都意味着订单。一家设备厂商高层说到。 据测算，常规PERC产线单GW设备投资额约3.5-4亿，丝网印刷、制膜(设备包括PECVD和ALD
的。如何在量产和成本之间找到一个平衡点，姚总如是说：2014年，公司从荷兰、德国引进ALD设备以及激光设备进行进一步的PERC电池研发，后来将国内最早的一台批量化ALD量产设备搬到亿晶光电的现场进行中
