ALD技术

imec的研究人员的N型PERT(钝化发射极、背面全扩散)太阳能电池日前实现一个新的创纪录的转换效率，该电池启用Meco的镍/铜/银镀层(三根主栅线电网)技术以及SoLayTec的原子层沉积(ALD
和随后铝的物理气相沉积的激光烧蚀产生。背面钝化堆积包括一个薄的(10 nm) ALD基Al2O3层，在其InPassion设备中采用SoLayTec的空间ALD技术。 SoLayTec的联合

工艺技术水平不足。目前，我国晶硅太阳能电池设备用的关键零部件，要么国内无法供应，要么技术要求达不到，只能依赖进口产品。第二，在晶硅太阳能电池设备种类方面，我们还不能实现完全自主配套。如硅片金刚线切割设备
小幅增长。其次，晶硅太阳能电池设备的升级和更新将是今年的市场亮点，低端设备将退出市场。2013年又研制出的一批新的晶硅太阳能电池设备(在线湿法刻蚀设备、减压扩散炉、ALD原子层沉积Al2O3钝化膜设备

工艺技术水平不足。目前，我国晶硅太阳能电池设备用的关键零部件，要么国内无法供应，要么技术要求达不到，只能依赖进口产品。第二，在晶硅太阳能电池设备种类方面，我们还不能实现完全自主配套。如硅片金刚线切割
小幅增长。其次，晶硅太阳能电池设备的升级和更新将是今年的市场亮点，低端设备将退出市场。2013年又研制出的一批新的晶硅太阳能电池设备(在线湿法刻蚀设备、减压扩散炉、ALD原子层沉积Al2O3钝化膜设备

可靠性方面还存在差距。这主要源于我国的零部件基础配套能力和装备制造本身的工艺技术水平不足。目前，我国晶硅太阳能电池设备用的关键零部件，要么国内无法供应，要么技术要求达不到，只能依赖进口产品
将是今年的市场亮点，低端设备将退出市场。 　　2013年又研制出的一批新的晶硅太阳能电池设备(在线湿法刻蚀设备、减压扩散炉、ALD原子层沉积Al2O3钝化膜设备、超细栅印刷设备、全自动太阳能电池

的工艺技术水平不足。目前，我国晶硅太阳能电池设备用的关键零部件，要么国内无法供应，要么技术要求达不到，只能依赖进口产品。第二，在晶硅太阳能电池设备种类方面，我们还不能实现完全自主配套。如硅片金刚线切割
，第四季度有望小幅增长。其次，晶硅太阳能电池设备的升级和更新将是今年的市场亮点，低端设备将退出市场。2013年又研制出的一批新的晶硅太阳能电池设备(在线湿法刻蚀设备、减压扩散炉、ALD原子层沉积Al2O3

比较复杂，因此，G8铸锭炉改造需要打破现有的炉型结构和升级路线，属于全新的研制设计。由于硅锭尺寸的加大，为确保硅锭熔化、长晶的固液界面、退火的均匀等，需要大尺寸热场温度控制稳定技术，即对热场温度横向梯度
，减少位错和阴影及有效排杂。因此，G8改造过程中控制方式、冷却方式、加热器配置和热场区域的布置，工艺配方都需要改动，例如：GT炉型，在结构上底部加热器的引入，在控制方式上加热器分开控制；ALD炉型

间， TMA前体材料用量少五倍，最重要的是ALD工艺非常高的稳定性。这使电池效率分布更窄，并具有较高的平均效率，为我们的客户带来更大利润。 合作双方表示，他们将在SNEC 2014上展示其InPERC技术对于效率超过18%的多晶硅太阳能电池的成果。

水平。研究小组还在非铅的环境友好型钙钛矿光电转换材料设计与制备及其器件应用取得新进展。在此基础上采用原子层沉积（ALD）技术和卷对卷（ROLL TO ROLL）技术探索制备出低成本、大面积、柔性、高效

水平。研究小组还在非铅的环境友好型钙钛矿光电转换材料设计与制备及其器件应用取得新进展。在此基础上采用原子层沉积（ALD）技术和卷对卷（ROLL TO ROLL）技术探索制备出低成本、大面积、柔性、高效

环境友好型钙钛矿光电转换材料设计与制备及其器件应用取得新进展。在此基础上采用原子层沉积（ALD）技术和卷对卷（ROLLTOROLL）技术探索制备出低成本、大面积、柔性、高效太阳能电池，将极大地满足青岛乃至