ALD技术
也相对较大的以ALD (原子层沉积)技术为基础的双面AlOx钝化技术，即采用AlOx同时钝化PERC电池的正面和背面。 东方日升是全球首家双面AlOx钝化PERC电池量产实现GW规模(~2GW)的
(ALD)技术形成的Al2O3层被用于进行背面钝化。沉积形成的Al2O3层还要进行一次后沉积退火，这一步被集成在随后的背 面SiNx减反射膜(ARC)沉积工艺上，采用的是管式等离子增强化学 气相沉积
摘要
大比例黑硅制绒技术已经规模化应用，协鑫、阿特斯、韩华等领军企业已经实现了黑硅PERC吉瓦级的量产，证明多晶黑硅与单晶一样完全兼容PERC电池产线。而且，多晶黑硅叠加PERC技术后可得到额外
，并多次向领跑者项目供应了一批高效组件。就技术优势而言，晋能科技PERC组件采用先进的ALD背面Al2O3钝化工艺，背面采用皮秒激光开槽，降低激光对硅片的损伤;组件首年光衰还低于1.5%，优于常规
鉴于531新政的影响，我国光伏产业竞争格局进一步加剧，产业也加速由量变转向质变转变。在此挑战与机遇并存的情况下，拥有技术实力与前瞻布局的一线光伏企业已加速布局海外市场。近期，山西第一光伏组件
摘要:随着晶体硅太阳电池技术的不断发展，硅片的厚度不断降低，电池表面钝化对提高太阳能电池转化效率变得尤为重要。本文介绍了表面钝化膜在晶体硅太阳电池中的应用，以及几种晶体硅电池表面钝化方法，包括
等离子体增强化学气相沉积法、氢化非晶硅、热氧化法、原子层沉积法以及叠层钝化，并分别介绍了它们在应用上的优缺点。分析了制备钝化膜过程中存在的问题，并提出了相应措施及发展趋势。表面钝化技术是提高晶体硅电池
转换效率的关键装备。先导的ALD 背钝化设备、MBB多栅串焊机等均达到了全球领先的水平，结合自主研发的MES系统，可为光伏企业打造无人车间。 技术推动行业发展，通威与先导的强强联合，将进一步提升中国光伏产业的技术迭代，共同促进行业健康良性发展。
重要方向。
图：基于AlOX的背钝化技术的市场份额预测(来源：ITRPV 2018)
表：PECVD与ALD Al2O3钝化膜制备工艺比较
量产设备的出现也是PERC实现产业化不可或缺
技术。背面抛光并不需要添加专门的工艺和设备。只需在清洗时改变用于蚀刻的化学试剂。在这个步骤中，可以加强化学试剂以达到理想的表面粗糙度。
蚀刻成都也取决于介质膜沉积的工艺。如ALD沉积膜的质量非常好
受益于氧化铝钝化硅表面技术的革新，最近钝化发射极和背表面电池(PERC: Passivated Emitter and Rear Cell)概念在硅光伏工业领域显示出了复苏迹象，并推动了P型太阳能
实现采用P型提拉法硅片太阳能电池的大规模生产，平均效率超过20.5%。不仅如此，实验结果还显示，同样的技术应用在基于种晶定向凝固法制备得到的高质量多晶硅(多晶硅)片的太阳能电池上，并结合陷光技术后，其
金属接触，有效降低背表面的电子复合速度，同时提升了背表面的光反射。
PERC电池实验室制备采用了光刻、蒸镀、热氧钝化、电镀等技术，而产业化PERC工艺采用了PECVD(或ALD)法钝化、激光开孔
PERC到底是个什么GUI?
一起探讨PERC技术研究与发展趋势吧
什么是PERC电池?
PERC(Passivated Emitter and Rear Cell)，钝化发射极和背面电池技术
，PERC) 电池是一种发射极与背面双面钝化的太阳电池。通过ALD技术，在电池片背表面沉积一层Al2O3，然后再使用等离子化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical
制作流程一般为：制绒- 扩散-刻蚀-ALD- 正面PECVD- 背面PECVD- 激光开槽- 丝网印刷。随着PERC 电池的量产，在EL测试中，EL 测试仪总能测出正面发暗的电池片，如图2 所示
21.3-21.8%.
不过，这还与世界最高纪录相差很大2017年日本KANEKA公司的Yoshikawa等人以一种基于叉指背接触(IBC)技术和异质结钝化技术(HIT)的新型叉指背接触异质晶硅太阳能
单晶电池(HBC)实现了26.6%的光转化效率;弗劳恩霍夫太阳能系统研究所(ISE)使用等离子表面制绒技术以及隧道氧化层钝化接触(TOPCon)技术，实现多晶转换效率达22.3%。
上述世界效率纪录的
