ALD技术

厂商为代表的原子层沉积(ALD)方式，以及以瑞士生产设备商Meyer Burger为代表的板式沉积(PECVD)方式。 针对韩华新能源所控，隆基股份公开表示，公司产品采用的是PECVD技术，与
韩华新能源所采用的ALD技术并不一致。 根据媒体信息初步分析显示，韩华新能源诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得，只拥有部分专利权的与其他公司共有的专利。同时，该专利族至少已经在欧洲被

导读： SmitOvens、SoLayTec和Solliance三家公司将合作开发一个联合研发项目，旨在将原子层沉积(ALD)与大面积衬底相结合，提供生产工具技术改进薄膜光伏组件包括CIGS的缓冲
和势垒层沉积。 SmitOvens、SoLayTec和Solliance三家公司将合作开发一个联合研发项目，旨在将原子层沉积(ALD)与大面积衬底相结合，提供生产工具技术改进薄膜光伏组件包括CIGS的

引言 近年来，能源危机与环境压力促进了太阳电池研究和产业的迅速发展。目前，晶体硅太阳电池是技术最成熟、应用最广泛的太阳电池，在光伏市场中的比例超过90%，并且在未来相当长的时间内都将占据主导地位
。 如何提高转换效率是太阳电池研究的核心问题。1954年，美国Bell实验室首次制备出效率为6%的单晶硅太阳电池。此后，全世界的研究机构开始探索新的材料、技术与器件结构。1999年，澳大利亚新南威尔士

韩华Q-CELLS所提及的专利，这些诉讼缺乏技术或法律依据，将对韩华提出的诉讼进行有力的辩护。隆基绿能也于同日发布声明称，目前公司所采用的是PECVD技术，与涉案专利采用的ALD技术并不相同。而且，韩华

ALD技术，而隆基采用的是PECVD技术。晶科、REC也作出韩华的起诉缺乏法律依据和技术依据的类似回应。 事情的真相我们不予置评，但确确实实是一场由利益纠纷主导演化的专利纠纷。然而类似的事件并不罕见

ALD技术，而隆基采用的是PECVD技术。晶科、REC也作出韩华的起诉缺乏法律依据和技术依据的类似回应。 事情的真相我们不予置评，但确确实实是一场由利益纠纷主导演化的专利纠纷。然而类似的事件并不罕见

产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ALD技术，而隆基采用的是PECVD技术。 隆基方面的观点也得到了瑞士太阳能制造设备制造商梅耶博格(Meyer Burger)的认可。梅耶博格方面表示

中表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ALD技术，而隆基采用的是PECVD技术。 隆基方面的观点也得到了瑞士太阳能(4.270, -0.01, -0.23%)制造设备制造商

。同时，该专利至少已经在欧洲被其他人发起专利无效，专利权稳定性存在较大不确定性。从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致(专利采用的是ALD技术，隆基采用的PECVD技术)。 仅根据