黑硅

降低光伏组件的成本和提高光伏组件的转换效率两个目标，不断推出光伏新设备和新工艺。这将促进太阳能电池片产品生产商加快技术改造的步伐。今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入

步伐。 今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备，采用定向凝固生长技术的吨位级多晶硅铸锭炉和大尺寸开方机，带二次加料装置、采用下排气结构的高效低能耗全自动硅单晶

子专用设备工业协会常务副秘书长 金存忠 今年，制备高转换效率纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备、采用定向凝固生长技术的吨位级多晶硅铸锭炉和大尺寸开方机、带二次

降低光伏组件的成本和提高光伏组件的转换效率两个目标，不断推出光伏新设备和新工艺。这将促进太阳能电池片产品生产商加快技术改造的步伐。今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入

设备制造商针对降低光伏组件的成本和提高光伏组件的转换效率两个目标，不断推出光伏新设备和新工艺。这将促进太阳能电池片产品生产商加快技术改造的步伐。今年，制备高转换效率的纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体

光伏组件的成本和提高光伏组件的转换效率两个目标，不断推出光伏新设备和新工艺。这将促进太阳能电池片产品生产商加快技术改造的步伐。今年，制备高转换效率纳米表面结构的黑硅材料使用的等离子体浸没离子注入设备、采用

近日，中国科学院微电子所微电子设备技术究室夏洋研究员、刘邦武、刘金虎等科研人员组成的研发团队联合嘉兴中科院微电子仪器与设备工程中心在黑硅太阳能电池研究上再获进展。继2012年11月多晶硅电池转换效率
达到17.88%后，再度取得进展，突破18.3％。 该团队利用自行研制的等离子体浸没离子注入设备，制备了纳米表面结构的黑硅材料。黑硅的纳米结构具有良好的吸光性能，也可以提高电池的填充因子与短路

索比光伏网讯:近日，中科院微电子所微电子设备技术究室夏洋研究员、刘邦武、刘金虎等科研人员组成的研发团队联合嘉兴中科院微电子仪器与设备工程中心在黑硅太阳能电池研究上再获进展。继2012年11月
多晶硅电池转换效率达到17.88%后，再度取得进展，突破18.3%。高效多晶黑硅太阳能电池I-V曲线(2013年3月)该团队利用自行研制的等离子体浸没离子注入设备，制备了纳米表面结构的黑硅材料。黑硅的纳米结构

，对现有技术进行中试，并在产线上加以推广和应用。该研究项目得到国家973项目新型微纳结构硅材料及其广谱高效太阳能电池研究和国家自然科学基金基于黑硅材料的高效太阳电池研究的资金支持。

于处理硅衬底表面结构，以创造黑硅。 降低反射率为电池光捕获提供了更大的潜力。启用干法刻蚀工艺创造表面结构独立于硅衬底的晶体结构，并且能够应用于硅片的一侧。我们选择PlasmaPro系统由于其为我们提供了研究需要的所有功能。