钝化设备
%的功率衰减，即使采用氢钝化等技术也无法完全消除光衰;而N型双面则与PERC双面不同，基底掺磷，没有硼氧对形成复合中心的损失，使得电池几乎无光致衰减。
(3)弱光性良好。相比P型单晶，N型单晶对弱光
、性能上的优势，但目前市场主流却仍是PERC技术，归根结底在于PERC更低的成本带来的价格优势。据了解，PERC双面组件只需基于现有产线增加沉积背钝化层和背面激光开槽两道工序，几乎不增加额外成本。因此未来
，在基底中捕获电子形成复合中心，从而导致3~4%的功率衰减，即使采用氢钝化等技术也无法完全消除光衰;而N型双面则与PERC双面不同，基底掺磷，没有硼氧对形成复合中心的损失，使得电池几乎无光
更低的成本带来的价格优势。据了解，PERC双面组件只需基于现有产线增加沉积背钝化层和背面激光开槽两道工序，几乎不增加额外成本。因此未来N型双面技术如何实现有效降本，将成为其提升市场竞争力、争夺市场份额
镀膜的最优工艺参数。
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的氮化硅薄膜作为理想的减反射膜,具有很好的表面钝化作用,已被广泛地用于半导体器件。沉积参数的设计和工艺安排都会显著影响氮化硅薄膜产量和质量
不满足质量期望的工艺参数进行局部调整,实现工艺参数的优化。
1PECVD沉积氮化硅薄膜的试验方案
1.1PECVD系统反应室的结构
本试验采用PD-200N型等离子体增强化学气相沉积设备,其
电池工艺需要引入背面钝化技术，相比于常规电池开路电压大幅提升，原来很难发现的缺陷，比如细微划伤、黑斑等问题都会暴露出来。隆基乐叶通过生产工艺的优化，设备的改造升级，很好的解决了良品率问题，目前隆基乐叶
PERC电池良品率达到97%以上，已经接近常规电池。
据记者了解，制造装备在PERC电池技术的发展过程中扮演着至关重要角色，目前，自动化成为PERC新增产线的标配，PERC关键设备背钝化技术路线明晰
来源：太阳能杂志
摘要：以Al2O3/SixNy为钝化层，制备了PERC单晶硅太阳电池，研究Al2O3钝化层厚度对钝化效果的影响，分析硅片少子寿命变化、烧结曲线对PERC电池电性能参数的影响
基础上增加了背面Al2O3/SiNxHy层叠钝化与激光开孔工艺。利用Al2O3薄膜的场钝化效应与SiNxHy薄膜的氢钝化效应将硅片的有效载流子寿命由10～20s提高到100～120s，同时利用激光对
地面和水上等应用场景。天合智能优配集成设备核心软、硬件，提供一体化的产品设计、集成与安装服务，同时配合一体化的控制和智能运维系统，以达成最佳的系统配合。该解决方案将为业主和开发商提供高可靠的系统解决方案
在背表面介质膜钝化，采用局域金属接触，大大降低被表面复合速度，同时提升了背表面的光反射。此次爱康光电推出的PERC组件转化率达到了19%。
此外还有，多晶防尘组件(含有特殊工艺，自带清洁效果
万元-23，000万元，比上年同期增长173.40%-222.47%。报告期内，公司已完成对苏州晟成光伏设备有限公司的并购，该公司自2018年1月1日起纳入公司合并报表范围，导致本报告期公司整体
发展专项项目的通知，其中，支持钝化发射极及背局域接触(PERC)以及双面PERC、本征薄膜异质结(HIT)、全背电极接触晶硅(IBC)、N型双面、金属穿孔卷绕(MWT)、黑硅多晶、新型(柔性)薄膜、多主
转换效率的关键装备。先导的ALD 背钝化设备、MBB多栅串焊机等均达到了全球领先的水平，结合自主研发的MES系统，可为光伏企业打造无人车间。 技术推动行业发展，通威与先导的强强联合，将进一步提升中国光伏产业的技术迭代，共同促进行业健康良性发展。
的不同而异。因此，钝化膜沉积设备和膜开口设备(既可以使用激光也可以运用化学蚀刻)都需要在传统的电池生产线上额外增加加工设备。对于较少应用的激光边缘隔绝处理工艺生产线，需要增加一个化学湿式工作台进行背面
载流子复合，提高表面钝化效果;
(3)增强电池短波光谱响应，提高短路电流和开路电压。
目前选择性发射极的主要实现工艺有氧化物掩膜法、丝网印刷硅墨水法、离子注入法和激光掺杂法等，其中激光PSG掺杂法由于
其工艺过程简单，从图1可以看出从太阳电池常规产线升级成激光掺杂选择性发射极太阳电池生产线，工艺上只需增加激光掺杂一个步骤，从设备上来说，只需增加掺杂用激光设备，与常规产线的工艺及设备兼容性很高，是行业
