钝化设备
优势在于超高电池转换效率，低制程温度以及可向薄型化发展。但是，由于设备初期投资高以及对制程工艺要求严格，大部分厂商对此技术仍在观望阶段。
效率发展及技术趋势
异质结电池具有能量转换效率高、简单的低温
制造工艺、薄硅片应用、温度系数和CTM低、可双面发电等一系列优势。异质结电池实现低成本量产的关键在于设备国产化、提高良率和产能以及降低硅片、低温银浆、TCO靶材和清洗制绒化学品等成本。日本松下、上澎
设备达到200台，产能达到25GW以上，且黑硅制绒直接替代常规酸制绒，无需增加工序。
但是，对光伏行业来讲，黑硅不是一个新技术。
1997年，美国哈佛大学的科学家Eric. Mazur
黑硅，RIE)及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法(湿法黑硅，MCCE)，前者受设备参数影响较大，后者受硅片质量及工艺条件影响较大。
2004年，日本京瓷公司引入了干法黑硅RIE多晶制绒技术;2008年，以
生产设备最先进、自动化和智能化程度最高、单体规模最大的高效晶硅太阳能电池生产基地。
毋庸置疑的是，5年来，通威太阳能从零开始，紧贴市场需求，不断强化生产管理，积极推进现代化、精细化管理，已经成为多家
光伏企业学习的标杆企业。这家企业始终在全力提升产品质量，其自主研发的高效组件经成都国家光伏产品质量监督检验中心检测认证，钝化发射极背接触单晶电池组件最高功率达到421.9W，组件转换效率达到20.7
，深圳捷佳伟创已经开发出LPCVD设备，在增强电池表面钝化效果及促进多数载流子的传输方面，通过特别的结构设计在同一腔体里集成实现了隧穿氧化层、多晶硅层的沉积及掺杂功能，克服了金属接触区复合较高的问题。与
常州捷佳创是深圳捷佳伟创的全资子公司，其前身是深圳捷佳创，已具有十三年湿法光伏设备的研发和制造经验。常州捷佳创已向行业提供了约50GW的单多晶制绒酸洗设备和湿法刻蚀设备，行业设备成本下降50%以上
全面印刷铝背场结构， 但PERC 电池背面采用钝化膜钝化后再通过激光开槽的方法形成局域接触结构， 其钝化膜可以降低接触电阻， 提高转化效率. 大量研究表明， PERC 电池的电性能主要与原材料的种类
光伏电池产品，光伏建筑一体化方案：发电墙、汉瓦、发电玻璃，薄膜发电产品，Solibro的CIGS薄膜发电技术，CIGS共蒸发技术，小尺寸组件的转换效率：1cm2电池转换效率达到21.0%，硅基薄膜生产设备
各种应用形式。
爱康科技
提出以高效 HJT 异质结电池+高效叠瓦组件为核心的产品技术路线。新一代迭代技术光伏组件生产项目落地，光伏核心设备制造研发，同时在能源互联网领域发力。
协鑫集成
在
技术，CIGS共蒸发技术，小尺寸组件的转换效率：1cm2电池转换效率达到21.0%，硅基薄膜生产设备以及流程，柔性光伏组件，透明导电氧化玻璃(TCO，掺杂或本证氧化锌膜层)镀膜工艺。PECVD，PVD和低压
技术光伏组件生产项目落地，光伏核心设备制造研发，同时在能源互联网领域发力。
协鑫集成
在光伏电池和组件产品坚持多晶与单晶技术路线并举，提供满足客户需求的高效定制化产品，其中多晶黑硅PERC电池量产
兰州大学教授彭尚龙团队采用新型电荷选择性材料改性、光吸收改善、硅纳米陷光结构的构筑、硅表面钝化和硅/金属界面接触电阻降低等策略，提升了太阳能电池转换效率，同时，降低了成本。该成果日前发表于《纳米能源
》。
传统的硅基太阳能电池由于制备流程复杂、硬件设备投资高，使得电池成本高，限制了大规模的应用。用新型电荷选择性材料与晶硅基片形成非掺杂的异质结太阳能电池，可避免掺杂所需要的高温工艺，但这类材料本身
光伏行业研究的科研机构较多，具有代表性的有：
上海地区研究机构一览
今年3月，中国科学院上海应用物理研究所高兴宇课题组开发出一种新型钙钛矿薄膜表面钝化工艺，极大减少钙钛矿薄膜特别是其表面
, 10-19)。
同时，上海地区在微电子设备方面有着很好的基础，为电池组件新技术装备的研发提供了条件，主要的设备企业有上海森松(多晶硅还原炉设备)、汉虹(多晶铸锭炉与多晶炉)、日进机床(硅锭加工设备)、理想
摘要：以Al2O3/SixNy为钝化层，制备了PERC单晶硅太阳电池，研究Al2O3钝化层厚度对钝化效果的影响，分析硅片少子寿命变化、烧结曲线对PERC电池电性能参数的影响。
0 引言
为了
唯一产业化的高效太阳电池技术。PERC电池在常规电池基础上增加了背面Al2O3/SiNxHy层叠钝化与激光开孔工艺。利用Al2O3薄膜的场钝化效应与SiNxHy薄膜的氢钝化效应将硅片的有效载流子寿命由
