钝化设备
，晋能科技早在2017年就已实现中试线投产，现有产能100MW，异质结电池量产最高效率达23.85%，量产平均良率达98.29%，未来的规划产能为1GW，设备正在采购中。
2018年5月，通威股份
℃，可使用130m甚至更薄的硅片，在设备和材料上降本空间大，未来将最更具成本优势。
基于无B-O光衰减、无LeTID，较低的温度系数(基本只有晶硅同质结电池的一半左右)、高双面率、弱光响应优异等特点
后PERC时代的技术发展，被讨论最多的应该就是TOPCon和异质结技术。
中科院电工所研究员王文静表示，目前看来PERC电池的下一代技术可能是往TOPCon或者异质结的方向发展，因为把金属半导体钝化
挤压?
TOPCon技术是通过电池背面的隧穿氧化层和掺杂多晶硅层实现整面的背钝化，且多子可以穿透两层钝化层，无需开孔，避免了开孔处硅材料损伤和金属接触区域的复合。
王文静表示，TOPCon电池的
更有优势，但主要设备与现有产线不兼容。
至于Topcon技术，电池效率较高，工艺和设备可以与常规PERC电池兼容。但双面衰减率低，工艺步骤多、成本较高、银浆消耗量大，在BBr扩散、硼离子注入、制备
具有高质量，致密无针孔的特性，可以有效阻挡氮化硅薄膜中的氢原子向电池内部的扩散，从而减少LeTID衰减。
江苏微导CTO黎微明博士指出，ALD钝化效果优异，量产性能稳定，并且在当前多种技术路线中生
，一条廊道好似时空隧道，一眼难以望穿。廊道两旁竖立着巨幅玻璃窗，透过玻璃，只见一排排太阳能晶硅电池片加工设备整齐排列，不闻嘈杂之音。若不是其间不时穿梭的AGV无人搬运小车，很难想象它们正在
运转。
通威太阳能(合肥)有限公司总经理萧圣义介绍，电池片生产流程包括制绒、扩散、刻蚀、背钝化、镀膜等环节，整个流程基本都是智能化。没有人员的干预，每一个生产环节步骤基本上都是标准化，这样生产出来的产品品质具有
，一条廊道好似时空隧道，一眼难以望穿。廊道两旁竖立着巨幅玻璃窗，透过玻璃，只见一排排太阳能晶硅电池片加工设备整齐排列，不闻嘈杂之音。若不是其间不时穿梭的AGV无人搬运小车，很难想象它们正在
运转。
通威太阳能(合肥)有限公司总经理萧圣义介绍，电池片生产流程包括制绒、扩散、刻蚀、背钝化、镀膜等环节，整个流程基本都是智能化。没有人员的干预，每一个生产环节步骤基本上都是标准化，这样生产出来的产品品质具有
在当今屋顶市场有着良好业务的高效LG和松下。高效率技术在这个价格水平上有很多商业化的机会。
这也是异质结在未来几年可以发挥核心作用的地方。
异质结(HJT)电池工厂确实不同。布局、设计、设备都与
从根本上限制异质结的生产速度。
所有已安装的PERC生产线必须自然地达到生命的尽头。我认为现在这些设备的折旧周期很短，但是预计这些产线仍然有望运行至少3-5年。
异质结可以在高档屋顶价格点的增量扩张
进行了深入的探讨。
中国科学院电工研究所研究员
王文静
与P型PERC单晶相比，Topcon的效率更高，同时，工艺和设备可以与常规PERC电池兼容，双面衰减率低，得到了部分企业的
%;二是IBC，目前已经投入量产，半年内电池效率有望达到23.5%。
中来拥有2.4GW的N型双面钝化接触电池产能，1GW组件产能，钝化接触电池量产平均效率达到22.8%，双面率80-85%，研发
2019中国国际光伏技术论坛(CITPV)在杭州举行。在电池结构及制备工艺的分论坛上，江苏微导纳米装备科技有限公司CTO黎微明指出，ALD正逐步取代PECVD成为主流钝化技术，降低了PERC生产成本
。
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3.上海理想万里晖薄膜张津岩：打破垄断，实现PECVD中国造
上海理想万里晖薄膜设备有限公司工艺执行总监张津岩在2019CITPV上介绍道，理想万里晖研制的PECVD设备打破了该
钝化技术方面也具有重要应用。今年5月，微导在全球首次推出了ZR4000X2等离子体增强的PE-ALD设备平台以及ALD隧穿氧化硅工艺，可以在保证表面钝化的基础上达到最佳的隧穿层均匀性，确保电流收集均匀
于2015年底，从2016年上半年开始正式投入运作。截至去年，微导ALD设备市场占有率达到80%。目前，有超过20家电池厂商采用微导的ALD设备及技术，累计出货超过140多台。数据显示，微导总装机量在全球背钝化部分是全球第一，现在总装机量已经接近40GW。
