金属镀膜
技术，CIGS共蒸发技术，小尺寸组件的转换效率：1cm2电池转换效率达到21.0%，硅基薄膜生产设备以及流程，柔性光伏组件，透明导电氧化玻璃(TCO，掺杂或本证氧化锌膜层)镀膜工艺。PECVD，PVD和低压
模紧套纤光缆、超柔5/4"金属铠装光电混合缆等11项新品
2017年项目：
智能光伏+科技农业创新项目，开发与荣誉 报告期内，公司起草了《电线电缆用无卤低烟阻燃电缆料》、《电缆及光缆燃烧性能分级
摘要
针对晶体硅太阳电池缺陷的检测问题，利用多种测试设备(EL、PL、Corescan等)，在电池制作的主要工序段(扩散、镀膜、印刷、烧结)对硅片和电池片进行检测，归纳和总结了电池的各种典型缺陷的
测量电势的比率计算。
Fig.2-4SHR
2.5串联电阻扫描(Corescan)
Corescan的扫描头包含一个光源和金属探针(Fig.2-5)，扫描过程中，将电池片短路连接,扫描
：激光;H：金属化;I：测试和分选
上述系统也可以通过对双面PERC工艺(PERC+)进行少量改动实现升级：
这需要对太阳能电池片镀膜的生产工艺方案进行细微调整，从而提高透明度，同时将背面印刷从全面
金属化已经成功地应用于太阳能电池片生产，以避免电池背面的串联电阻损失。这种铝背场提高了太阳能电池片的转换效率，而金属化背面则具有一定程度的光反射功能。
目前，我们正在经历全面的技术升级：将至今仍在使用的
、多线切割设备、高效电池片及组件制造设备、金属有机物化学气相沉积设备、外延层剥离设备、薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备、低成本高效原子层沉积缓冲层设备、连续卷对卷多点分布式共蒸法镀膜设备、自动化集成芯片
。衬底一般 采用玻璃，也可以采用柔性薄膜衬 底。一般采用真空溅射、蒸发或者 其它非真空的方法，分别沉积多层 薄膜， 形成 P-N 结构而构成光电转 换器件。从光入射层开始，各层分 别为：金属栅状
电极、减反射膜、窗 口层(Zn0 )、过渡层(CdS)、光吸收 层(CIGS)、金属背电极(Mo )、玻璃 衬底。经过近 30 年的研究，CIGS 太阳电池发展了很多不同结构。最主要差别在于窗口材料的
提升发电效率的不同手段：在硅料、长晶切片环节主要通过物理方式提升材料纯度;电池片环节则通过各种镀膜、掺杂工艺提升效率;组件环节则通过各种不同的封装工艺在既有的电池片效率前提下，尽量提升组件的输出功率或增加组件全
产过程中需要对现有生产线进行简单改造，并对现有生产工艺中的一些环节加强管控。虽然双玻组件可采取无金属边框设计，但无铝框双玻组件稳定性较差，易损毁。双玻组件成本有常规组件基本持平。
投资：采购专业层叠设备
常规背场电池(BSF)结构，具有先天局限性，随电池效率提高，局限性越发明显。应用于BSF电池背场金属铝薄膜不能降低背面复合速度，如降至200cm/s以下。达到金属铝背层红外辐射光仅60%-70%能反射
扩散炉;三是边缘刻蚀和去磷硅玻璃，此环节需要仪器SCHMID刻蚀机、SCHMID自动动化仪器;四是背钝化在硅片背面沉积三氧化二铝膜和氮化硅膜，此环节需仪器MeyerBurger的一体机式镀膜机、罗博特科
，提高了电池片的转换效率，因此又称SiN减反射膜;由于SiN膜中含有一定比例的H原子，因此硅片表面结构致密，具有非常好的抗氧化性和绝缘性，可以阻挡金属离子及水蒸气的侵蚀，还可以耐酸碱腐蚀，因此沉积SiN膜
。为此，电池片生产线都具有检验PECVD工艺后硅片不良品的环节，并制定出相应的检验标准。检验的方法是：镀膜颜色及外观采用人工目测的方式全检;膜厚与折射率采用SWE椭圆偏振测试仪进行抽检，从不同位置等间距
摘要：以高效异质结电池为出发点，阐述了异质结电池技术发展现状，介绍了丝网印刷技术、电镀技术、喷墨打印技术三种不同的电池金属化技术，分析了不同方法在异质结电极制备中存在的优缺点，并对未来低成本、高效率
异质结电池电极金属化技术进行了展望。
0引言
能源和环境的可持续发展已成为全球关注的热点问题，光伏发电拥有传统能源无法比拟的优点，实现了将太阳能直接转换为电能，是最理想的、持续发展的绿色能源。那么
的因素。钝化量产设备分为两派：一派以德国Centrotherm为代表，采用PECVD生长的氧化硅/氮化硅叠层膜作为背面钝化膜，另一派以德国R&R公司为代表生产的氧化铝镀膜设备，并且开发出二合一的氧化铝
叠层膜设备。而对于氧化铝镀膜设备根据其生长原理不同有两种，一种是以原子层沉积技术生长氧化铝膜，另外一种则是以PECVD(等离子体增强化学气相沉积)方式获得氧化铝膜。采用原子层沉积技术生长氧化铝膜量产
