金属氧化物

电子级多晶硅工艺系统优化改进、锌渣处理及有色金属综合回收等技术改造，加快碳纤维、高纯氧化镁、钛合金等补链、延链、强链项目建设。 省委生态文明建设领导小组综合及工程办公室关于印发《青海省生态文明先行
资源开发为核心，融合油气化工、有色金属等产业的循环型产业体系。优化煤化工、光伏、特色生物资源开发利用等12条循环经济产业链，持续推进电子级多晶硅工艺系统优化改进、锌渣处理及有色金属综合回收等技术改造

本征非晶硅膜( i-a-Si:H )和p型非晶硅薄膜( p-a-Si:H)。 03 物理气相沉积(PVD) 沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜(TCO) 04 丝网印刷机 正面金属电极制备
HELiA PECVD 及沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜(TCO)的HELiA PVD 设备来说，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤

非晶硅薄膜( p-a-Si:H)。 03、物理气相沉积(PVD) 沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜(TCO) 04、丝网印刷机 正面金属电极制备 反面金属电极制备 退火 测试和分档
的透明氧化物导电薄膜(TCO)的HELiA PVD 设备来说，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤如下： 01、制绒清洗机 ： 电池

轴承、叶片、齿轮箱等关键零部件和配套设备制造;发展高效薄膜电池、光伏逆变器、高性能平板集热器和高效晶硅电池、薄膜电池成套生产设备;加快推动氢燃料电池高性能电堆国产化，发展固体氧化物燃料电池及其分布式发电
。 4.氢能。开展低温和高温燃料电池电堆、关键材料、零部件和系统集成攻关，加快新一代碳板、金属板氢燃料电池电堆、膜电极、催化剂和碳纸、高压储罐等技术研发。 5.生物质能。加强以农林废弃物为原料的2代

非晶硅膜( i-a-Si:H )和p型非晶硅薄膜( p-a-Si:H)。 03、物理气相沉积(PVD) 沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜(TCO) 04、丝网印刷机 正面金属电极制备 反面
HELiA PECVD 及沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜(TCO)的HELiA PVD 设备来说，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤

覆盖一层氮化硅膜作为保护层。为使背面金属电极与硅形成良好的欧姆接触，需要对钝化层进行刻蚀，目前主流工艺采用激光开槽的方式来完成这一工序。 PERC 技术日趋成熟
电极均分布在背表面，有效减少正面 栅线的遮光，降低金属电极-发射极界面的载流子复合损失，提高光电转化效率，同时降低银浆消耗量，从而进一步 降低成本，MWT 技术可实现约 0.4%的转换效率提升。由于

，例如钙钛矿材料在光照、加热以及湿度下易分解，器件中常用的金属氧化物电子传输层(SnO2、TiO2等)在紫外光下产生电子空穴复合，两者共同作用严重限制了钙钛矿光伏器件工作稳定性。 另一方面，钙钛矿薄膜
有机-无机杂化的金属卤化物钙钛矿材料凭借其优异的光电性能、低原材料成本、以及简单的制备工艺而备受关注。近十年来，随着高性能钙钛矿材料的开发以及器件结构的创新优化，钙钛矿光伏器件的效率从3.8%迅速

锂离子电池作为生活中广泛应用的电池种类，主要依靠锂离子在正极和负极之间移动来工作，其常见正极材料有：锂钴氧化物(LiCoO2)、锰酸锂(LiMn2O4)、镍酸锂(LiNiO2)及磷酸锂铁(LiFePO4
缺点: 1. 安全性能稍差 2.对电池管理系统要求较高 3.成本较高 铅酸电池 铅酸电池是一种电极主要由铅及其氧化物制成，电解液是硫酸溶液的蓄电池。铅酸电池放电状态下，正极主要成分

HIT电池制造工序中所用到的设备，通过该设备沉积金属氧化物导电层TCO，这也是HIT电池在制作电极前的最后一步。 但PVD设备，并不是HIT最大难题。2020年1月，招商证券研报认为，TCO沉积这项

、二氧化硫和氮氧化物等指标下降了35%～45%，大气臭氧含量从140 g/m3上升到150 g/m3。能源清洁化发展成为生态环境保护的必然要求。2019年北京及周边地区通过大力实施煤改气，大气质量
效率、降低污染排放。中国是世界最大的燃煤火力发电国，年发电量4 732X1012 kW/h，占世界火力发电的47%。低功率工业锅炉较低负荷运行会造成烟温不能满足脱硝装置技术要求，导致氮氧化物排放超标