金字塔

制备太阳能电池的工艺流程图。制备了正面只有Al2O3的黑硅太阳能电池，同时制备了正面具有倒金字塔结构和Al2O3/SiNx钝化层的电池作对照组。对照组电池和黑硅太阳能电池唯一的不同是正面的倒金字塔结构和
（a）通过扫描电子显微镜（SEM）观察到的黑硅表面。（b）910℃扩散发射极、硼玻璃去除、沉积Al2O3后黑硅表面反射率曲线和具有倒金字塔绒面结构且沉积Al2O3/SiNx后对比组硅片的反射率曲线以及

硅金字塔微纳结构/PEDOT:PSS太阳电池。实验测试表明，经不同次数的机械弯折后（弯折角为800），该电池器件开路电压、短路电流以及填充因子等光伏特性均呈现优异的稳定性（变化率低于10%）。为柔性

定和有效的减反射方法。在工业化生产中，单晶硅利用各向异性腐蚀在碱液中制绒，硅片表面形成金字塔状结构可以有效地降低硅片表面的反射率。但是多晶硅晶向不规则，各向同性，不能在碱液中制绒，而是在酸溶液中制绒

发现当氧化层厚度超过2nm后，其隧穿效应就开始显著下降，影响填充因子。 具体到电池工艺方面，Fraunhofer ISE采用n型FZ硅片，正面采用普通金字塔制绒，硼扩散，ALD氧化铝加PECVD

多晶电池效率的提升受制于表面反射率的降低。常规多晶主要采用酸制绒，形成蠕虫状的坑洞;而单晶采用碱制绒，形成金字塔结构的绒面。相比单晶电池，常规多晶电池的表面反射率高3%~5%(绝对值)。降低表面反射率是提高
合适的设备，确保该工艺能够全天候稳定运行，是产业化必须面对的问题。 阿特斯开发的湿法黑硅技术，可以实现不同类型的纳米绒面。这些绒面包括：纳米正金字塔、纳米倒金字塔、纳米柱、纳米凹坑等，如图3所示。对于

1、引言多晶电池效率的提升受制于表面反射率的降低。常规多晶主要采用酸制绒，形成蠕虫状的坑洞；而单晶采用碱制绒，形成金字塔结构的绒面。相比单晶电池，常规多晶电池的表面反射率高3%~5%（绝对值）。降低
开发的湿法黑硅技术，可以实现不同类型的纳米绒面。这些绒面包括：纳米正金字塔、纳米倒金字塔、纳米柱、纳米凹坑等，如图3所示。对于不同类型的纳米结构，其光学特性以及电学特性是不同的。光学特性主要是封装后

于表面反射率的降低。常规多晶主要采用酸制绒，形成蠕虫状的坑洞；而单晶采用碱制绒，形成金字塔结构的绒面。相比单晶电池，常规多晶电池的表面反射率高3%~5%（绝对值）。降低表面反射率是提高多晶电池效率的
类型的纳米绒面。这些绒面包括：纳米正金字塔、纳米倒金字塔、纳米柱、纳米凹坑等，如图3所示。对于不同类型的纳米结构，其光学特性以及电学特性是不同的。光学特性主要是封装后光学多次反射的角度和路径不同，从而

（通常是碱金族的氢氧化物），将硅表面蚀刻出类似金字塔的微米结构；而黑硅是利用反应离子刻蚀（Reactive-Ion Etching， RIE）在表面蚀刻出奈米等级的小结构。利用碱液蚀刻出来的结构尺度较大

依次大幅增加。 　　如今，我国光伏市场产业链呈现出金字塔形模式，即底大尖小，从事上游制造、提炼的行业企业少，从事中游光伏组件以及太阳能电池制造的行业较多，从事下游光伏系统应用领域的最多。我国

范围来看，产业链6个环节所涉及企业数量依次大幅增加。 如今，我国光伏市场产业链呈现出金字塔形模式，即底大尖小，从事上游制造、提炼的行业企业少，从事中游光伏组件以及太阳能电池制造的行业