薄膜硅

方面给光伏企业提供技术支持 2020年12月，中石化资本宣布正式入股常州百佳年代薄膜科技公司，投资布局光伏发电新材料领域。2020年12月8日，中国石化宣布旗下胜利油田1MW分布式光伏项目建设完成
;同日，中国石化董事长张玉卓还率队到访太阳能单晶硅棒和硅片制造商隆基股份。 2020年8月，中国石化资本投资入股亚玛顿全资子公司凤阳硅谷智能有限公司，携手布局超薄光伏及光电显示特种玻璃产业链。 (2

。 HIT生产线核心设备有望近期实现国产化：HIT的4大工艺步骤制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备，对应的设备分别为清洗制绒设备、CVD设备(PECVD为主、HWCVD较少)、PVD/RPD设备
技术、一代工艺、一代设备，其中设备是核心瓶颈环节。 01 光伏设备分布 光伏设备行业在光伏产业链中赚取现金能力较强：光伏行业更新迭代速度很快，一般硅片、电池片、组件生产线的建设时预定的投资回收期

转换效率，并且理论成本更低;但另一方面，晶硅电池经过半个世纪的发展，现在已经实现了平价上网的伟大目标，并且积累了上万亿的资产体量，如果被完全替代会带来巨大的投资损失，薄膜电池天然具备良好的与其他电池
光伏的 LCOE 再降低 20%以上。 然而，由于多数晶体硅电池技术都需要高温烧结，而且表面粗糙度大(达到数微米)，与不耐高温并且厚度仅有几百纳米的钙钛矿薄膜

。C-HJT(Copper-Heterojunctionwith intrinsic Thin film)高效晶体硅铜异质结电池是使用N型硅片为衬底，通过真空薄膜沉积工艺在N型硅片正反面分别结合本征

常州百佳年代薄膜科技股份有限公司，布局光伏发电新能源、新材料领域。 这并非中石化近期针对光伏产业的首个动作。2020年12月8日，中石化董事长张玉卓到访全球最大光伏太阳能单晶硅棒和硅片制造商隆基股份

沉积非晶硅薄膜，综合了晶体硅电池与薄膜电池的优势，被认为是高转换效率硅基太阳能电池的重要发展方向之一。 与主流的高效光伏电池PERC相比，异质结转换效率和发电量都更高，且具备更强的技术延展空间

的异质结(Heterojunction with Intrinsic Thin-Layer)，是一种利用晶体硅基板和非晶体薄膜制成的混合型太阳能电池。其以N型单晶硅片为衬底，在硅片正面依次沉积本征

HJT的主要生产工艺有制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备和丝网印刷四步，其中TCO制备是生产HJT电池的第三道核心工序，高质量的TCO薄膜能有效提升HJT电池的整体转换效率。目前TCO镀膜设备
，在首届中国泰兴太阳谷异质结国际论坛暨第三节非晶硅/晶体硅异质结太阳能电池技术与国际化道路论坛上，捷佳伟创副总经理陈麒麟博士强调，TCO镀膜技术是推动常规异质结迈向高效异质结的关键技术。目前异质结量产