背面钝化

TOPCon电池以N型硅片作为基底，利用钝化接触技术在电池背面制备超薄的可隧穿氧化层和高掺杂的多晶硅薄层，形成正背面沉积SiNx膜。N型TOPCon电池双面率可达80%以上，弱光响应好，转换效率高，可由现有

发射极及背面接触(PERC)电池已经接近其量产极限效率(～23.5%)。光伏行业迫切需要开发效率更高且成本可控的量产型钝化接触技术。TOPCon是一种典型的钝化接触技术，其核心结构由超薄氧化硅层和重

技术路线，产品良率则与PERC接近。 　　一位拥有数十年行业经验的技术专家明确表示：从目前光伏电池设备供应链、以及从钝化原理可能达到的最高电池效率来看，接触钝化(TOPCon)电池技术是最适合光伏产业
升级高效电池技术路线。它大幅降低了背表面场复合速率和背面金属接触复合，实验室效率达到26%。随着TOPCon电池技术的成熟，具有达到大规模产业化25%效率的潜力。工艺的简化、银浆用量以及设备价格的降低，使

al., Appl. Phys. Rev. 7, 021305 (2020). 　　PERC的钝化接触可以近似的看成是TOPCon的不完全体。相较于曾经的全铝背场电池(电池背面除了银电极
，全部都是铝)，PERC电池的背面减少了铝的占比，在没有铝的地方用上了SiNx等钝化层来钝化背表面，减少了金属-半导体界面的复合，提高了电压，增加了转化效率。但是，PERC电池的金属电极构造，依然保留了少量

逐步逼近其实际可达的极限约为28.5%。 而晶硅太阳能电池逼近效率极限的主要有低阻、高质量硅片;薄硅片;高质量钝化(含接触)。为此，高平奇先生在进行了晶体硅免掺杂异质结电池的研究，并在实验设备不及
覆背板 高可靠性优势解析》的演讲。 图：中来新材资深技术专家冯贞 冯贞先生首先介绍了中来新材，其成立于2008年， 专注光伏先进材料研发制造。光伏背板位于太阳能电池板的背面，对

太阳电池的效率产生负面影响。因此，有学者提出电池设计方案中用薄膜将金属与硅衬底隔离的方案减少少子复合，在电池背面制备一层超薄氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构。超薄氧化层可以
25.4%，批量产线效率超过 24%，即使这样距极限效率仍有一定差距，效率提升的空间还很大; 2) 从工艺角度看，TOPCon与HJT实现功率提升的方式都是通过钝化，不过前者通过隧穿氧化层，HJT通过

较大的热损失，导致电流效率降低。如激光开孔面积过大，背面氧化铝的完整性会受到破坏，钝化层无法有效发挥降低表面复合速率的作用，导致电池的效率无法有效提升。 技术要点： 1. 激光损伤
。要求铝浆颗粒的大小在开口处填充效果良好，对介质膜的损伤适中，并且在烧结阶段不存在缝隙。2. 烧结温度对背面钝化膜的影响。低温烧结工艺-较快的升温速率，较慢的降温速率-减少空洞形成。

减少少子复合，在电池背面制备一层超薄氧化硅，然后再沉积一层掺杂硅薄层，二者共同形成了钝化接触结构。超薄氧化层可以使多子电子隧穿进入多晶硅层同时阻挡少子空穴复合，进而电子在多晶硅层横向传输被金属收集，极大
大; 2)从工艺角度看，TOPCon与HJT实现功率提升的方式都是通过钝化，不过前者通过隧穿氧化层，HJT通过沉积非晶硅薄膜方式。TOPCon需要在PERC产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加

晶科能源宣布，公司研究院所研发的高效N型单晶硅单结电池技术取得重大突破，在权威第三方测试认证机构日本JET检测实验室标定全面积电池最高转化效率达到25.4%，近一年来第四次创造新的大面积N型单晶钝化
下一代产品走向TOPCon电池，再升级到以背面接触形成的IBC电池的技术路线，它的目标是冲击电池效率大于26%，还会双结叠层电池大于32%。讲一下叠层和TOPCon结合是有比较好优势的，它有比较好的