背钝化

扩散）电池，这种电池的实验室最高记录是由赵建华博士于1999年实现的，其包含并不限于典型的选择性发射极（SE）技术。② 激光制绒，以达到均匀性最好的表面倒金字塔形貌。钝化背发射极（降低复合速率，延长少子
之内，Pluto技术的目标是单晶硅电池的转换效率达到20%及多晶硅的效率为18%。对PLUTO电池的评估如下：① 与南京中电SE电池类似，前身为新南威尔士（UNSW）大学的PERL（钝化发射极背部局域

发射极背部局域扩散)电池，这种电池的实验室最高记录是由赵建华博士于1999年实现的，其包含并不限于典型的选择性发射极(SE)技术。② 激光制绒，以达到均匀性最好的表面倒金字塔形貌。钝化背发射极(降低复合
。据称未来2年之内，Pluto技术的目标是单晶硅电池的转换效率达到20%及多晶硅的效率为18%。对PLUTO电池的评估如下：① 与南京中电SE电池类似，前身为新南威尔士(UNSW)大学的PERL(钝化

载流子的复合主要是由于高浓度的扩散层在前表面引入大量的复合中心。此外，当少数载流子的扩散长度与硅片的厚度相当或超过硅片厚度时，背表面的复合速度对太阳能电池特性的影响也很明显。提高晶硅太阳能电池转换效率的
，通常使用SF6/O2混合气体，在蚀刻过程中，F自由基对硅进行化学蚀刻形成可挥发的SiF4，O自由基形成SixOyFz对侧墙进行钝化处理，形成绒面结构。目前韩国周星公司应用该技术的设备可制得绒面反射率

索比光伏网讯:德国Fraunhofer太阳能研究所制备的多晶硅太阳能电池刷新了世界多晶硅电池的转化效率记录-20.3%。这种电池不仅具有局部背表面场结构和用等离子体掩模法制备的表面织构，光学电学
性能好，而且由于它采用了湿法氧化法而非传统的热氧化钝化电池后表面，在钝化效果和温度因素之间找到了一个合适的平衡点。既保证了钝化效果，又减少了温度对少子寿命的影响，使电池的性能得到最优化。该电池另一个特点是超薄，厚度仅37um,此技术对降低多晶硅用量有重要意义。（作者：和海一样的新能源）

索比光伏网讯:LBSF电池是深结局部背场 (Local Back Surface Fields)电池的简称，由德国Fraunhofer研究所研发，2cm2cm电池效率达到? =23.3%特点：1.
TCA生长氧化层钝化电池正反面2. 正面光刻制成的金字塔(绒面)结构3. 背面硼扩散一般造成高表面复合4. 局部铝扩散制作电池的表面接触

排列整齐的方形沟槽组成，浅发射极n+位于硅片的上表面，在其上有一极薄的氧化隧道层，Al电极倾斜蒸镀于沟槽的侧面，然后利用PECVD蒸镀氮化硅作为钝化层和减反射膜OECO电池有以下特点：(1)电极是蒸
镀在沟槽的侧面，有利于提高短路电流;(2)优异的MIS结构设计，可以获得很高的开路电压和填充因子;(3)高质量的蒸镀电极接触;(4)不受接触特性限制的可以被最优化的浅发射极;(5)高质量的低温表面钝化

技术已经转让给好几家世界上规模较大的太阳能电池生产厂。如英国的BP SOLAR和美国的SOLAREX等。激光刻槽埋栅电池的大致工艺流程为：硅片-清洗制绒-淡磷扩散-热氧化钝化-开槽-槽区浓磷扩散-背面蒸铝-烧背场-化学镀埋栅-背面电极-减反射膜-去边烧结-测试。(作者：和海一样的新能源)

表面的扩散和接触情况。其中PERL衍生了南京中电的SE电池与尚德的PLUTO电池。PESC(钝化发射极背接触)电池1985年问世,可以做到大于83%的填充因子和20.8%(AM1.5)的效率。PERC
(钝化发射极背场点接触)电池，用背面点接触来代替 PESC电池的整个背面铝合金接触，这种电池达到了大约700mV的开路电压和22.3%的效率。PERL(钝化发射极背部局域扩散)(Passivated

，适用于较薄的硅片，通常使用SF6/O2混合气体，在蚀刻过程中，F自由基对硅进行化学蚀刻形成可挥发的SiF4，O自由基形成SixOyFz对侧墙进行钝化处理，形成绒面结构。目前韩国周星公司应用该技术的设备可
、SiO2、SnO2、ZnS、MgF2单层或双层减反射膜。在制好绒面的电池表面上蒸镀减反射膜后可以使反射率降至2%左右。(3) 钝化层：钝化工艺可以有效地减弱光生载流子在某些区域的复合。一般高效太阳电池

高质量单晶硅材料和相关的成热的加工处理工艺基础上的。现在单晶硅的电地工艺己近成熟，在电池制作中，一般都采用表面织构化、发射区钝化、分区掺杂等技术，开发的电池主要有平面单晶硅电池和刻槽埋栅电极单晶硅电池
。厚的氧化物钝化层与两层减反射涂层相结合.通过改进了的电镀过程增加栅极的宽度和高度的比率：通过以上制得的电池转化效率超过23%，是大值可达23.3%。Kyocera公司制备的大面积(225cm2)单电