背钝化技术

转换效率的关键装备。先导的ALD 背钝化设备、MBB多栅串焊机等均达到了全球领先的水平，结合自主研发的MES系统，可为光伏企业打造无人车间。 技术推动行业发展，通威与先导的强强联合，将进一步提升中国光伏产业的技术迭代，共同促进行业健康良性发展。

% ;第二阶段是加入热氧化工艺，并优化刻蚀、扩散匹配，效率提升至 21.7%;第三阶段，即将规模推广的 SE 技术效率将提升至量产 22% 。 无论处于何种工艺阶段，核心的背钝化膜层的生长设备选型十分重要

，已经接近常规电池。 据记者了解，制造装备在PERC电池技术的发展过程中扮演着至关重要角色，目前，自动化成为PERC新增产线的标配，PERC关键设备背钝化技术路线明晰，量产设备及工艺均逐渐

了杂质引入的原因以及解决途径，从而显著减小了黑斑片产生的几率。 0 引言 晶硅电池组件广泛应用于光伏发电行业并形成相当大的产业规模，提高电池转换效率、减少电池的不合格率、优化生产工艺技术是降低
单面镀膜SiNx∶H钝化，以及背面电极、背面电场和正面栅线电极印刷，最后经过高温烧结形成较好的欧姆接触。 利用苏州中导光电设备有限公司生产的红外缺陷测试仪EL-S01对生产线上电池片进行测试

受益于氧化铝钝化硅表面技术的革新，最近钝化发射极和背表面电池(PERC: Passivated Emitter and Rear Cell)概念在硅光伏工业领域显示出了复苏迹象，并推动了P型太阳能

，最早在1983年由澳大利亚科学家Martin Green提出。PERC近年来效率记录不断被刷新，将成为未来三年内最具性价比的技术。 PERC电池与常规电池最大的区别在于背表面介质膜钝化，采用局域

的21.5%转化效率基础上，中来股份已将第二代N型电池技术的最佳助攻TOPCon引入到这2.1GW的产线中，实现了可规模化量产。 此次中来股份重点布局的N型双面TOPCon(隧穿氧化钝化)电池，作为
6月27日，光伏电站投资领域的巨无霸国家电投旗下黄河水电在青海联合了包括6位院士在内的14位全球光伏行业专家成立了青海光伏工程技术研究中心学术委员会委员，其下设17个独立或联合的机构。苏州中来光伏新

光伏组件的需求。 随后，宋登元博士全面论述了近年来晶体硅光伏技术的进展，特别是英利研发的高效熊猫电池、新型TOPCon钝化接触电池、双面IBC背接触电池的技术的研发和产业化情况，总结了晶体硅太阳电池的

，PERC) 电池是一种发射极与背面双面钝化的太阳电池。通过ALD技术，在电池片背表面沉积一层Al2O3，然后再使用等离子化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical
内容摘要 介绍了一种通过调整背钝化工艺改善多晶硅背钝化电池缺陷的方法。采用背钝化新型电池片工艺，在正常生产过程中EL会呈现有规律的区域发暗，严重影响电池片性能。本文通过优化PECVD工艺时间和退火