作用。前电极采用光刻栅线的方法在SIO2膜上开出电极栅线条,再用热蒸发法制备TI/PD/AG电极。在衬底的背面蒸镀AL或TI/PD/AG,得到背电极。用这种方法得到的硅薄膜电池的效率已达到12.11
%。
在非硅底材上生长多晶硅薄膜的太阳电池的研究方面,我们主要研究在SIO2和SI3N4膜底材上生长多晶硅薄膜电池。SIO2膜与硅的晶格匹配较好,热膨胀系数也较相近,用SIO2作衬底较佳。首先在
增加,能在CdS层内收集到更多的光激发载流子。
1.3 CdS簿膜电学特性
一般而言,本征CdS薄膜的串联电阻很高,不利于做窗口层,在300℃-350℃之间,将In扩散入CdS中,把本征
CdS变成n-CdS,电导率可达102-1cm-1左右。对CdS热处理也能使电导率增加108-1cm-1的量级。
在相对低温下进行热扩散,以免使膜退化。当在空气中加热到300℃时,由于氧在晶界