等离子体

我国以及世界上数以千万计的无电地区家庭安装户用光电系统。而已完成光伏产业垂直一体化布局的上海航天机电，也推出了国内零突破的等离子体增强化学气相沉积设备。　　在配套环节，苏州林泉电子科技有限公司是生产

功能于一身的小型逆控蓄一体机，可为我国以及世界上数以千万计的无电地区家庭安装户用光电系统。而已完成光伏产业垂直一体化布局的上海航天机电，也推出了国内零突破的等离子体增强化学气相沉积设备。在配套环节

低温等离子改性接枝是一种处理时间短、不产生化学污染、不破坏材料的整体体积结构、仅仅改变材料表面性能的处理技术。近年来，等离子体所“低温等离子体应用研究室”陈长伦、邵大冬、胡君、王祥科等所在的课题组
利用低温等离子体技术对碳纳米管进行表面修饰改性组装，克服了碳纳米管的难溶性带来的制约等问题，大为提高了其实际应用程度。 该课题组在用低温等离子体技术对碳纳米管进行改性组装后，将其应用于环境污染物检测和

教授也对等离子体除硼的工艺进行了介绍。此外，来自联盟理事单位中山大学太阳能系统研究所的梁学勤硕士也作了报告。 联盟副理事长单位宁夏发电集团的副总经理王顺祥先生介绍了冶金法多晶硅在光伏电站中的应用。宁夏

白炭黑、硅酸乙酯及有机硅产品等，实现多晶硅生产厂外的综合利用。在厂内闭路循环方面，需要采用氢化技术将四氯化硅转化成三氯氢硅。具体来讲，在这个过程中可供选择的技术包括热氢化技术、冷氢化技术、等离子体氢化
江西赛维公司、昆明冶研新材料股份有限公司进行相关技术合作。 此外，锌还原法、等离子体还原法等也受到了业内广泛关注，但由于受规模化应用中的经济性、纯度、物料闭环回收等因素的影响，其实用性要进一步

当选为中国工程院院士。长期从事等离子体表面工程技术和界面研究，主要研究耐高温防护层和纳米多层膜电磁功能材料。“电弧等离子体技术及其在表面防护上的应用”、“卫星回收天线耐高温隔热涂层”均获1977年

解析 三氯氢硅和四氯化硅混合生产多晶硅技术 等离子体还原四氯化硅制备多晶硅技术 四氯化硅制备光纤技术进展及问题解析 12

：www.appliedmaterials.com。 　　PECVD：等离子体增强化学气相沉积 　　PVD：物理气相沉积 　　请浏览图片及多媒体资料集：http://www.businesswire.com/cgi-bin

3月4日，韩中日绿色科技论坛（Korea-China-Japan Green Technology Forum）在韩国济州岛召开，中科院合肥物质科学研究院等离子体所王孔嘉研究员应邀参会并作了题为

可以使用塑料等低成本材料，"硅轻"计划将使用等离子体化学气相沉积法(PECVD)实现低温加工(通常低于200℃)。 需要使用透明导电氧化层(TCO)收集太阳能电池前端产生的电流，但研发