离子体反应

16、 工作气压对反应等离子体沉积ITO薄膜性能的影响 -----------------------------------中国科学院上海微系统与信息技术研究所 石建华 17、聚光光斑均匀
- --------------------------------------------上海太阳能电池研究与发展中心 赵守仁 16、 工作气压对反应等离子体沉积ITO薄膜性能的影响

世界领先水平。 夏洋研究团队原创性提出利用等离子体浸没离子注入技术，在商用多晶硅（156156mm2）衬底上制备黑硅材料，并将其成功应用于太阳能电池领域。该方法通过离子注入反应，形成致密的纳米结构，起到

水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭的外表部分和金属杂质聚集的部分后，将硅锭粗粉碎并清洗，并在等离子体熔解炉中去除硼杂质，然后二次区熔单向凝固成硅锭，再次除去外表部分和金属杂质聚集的部分然后粗粉碎和清洗
。 硅烷法可以分为两类，较早出现的是硅烷西门子法和硅烷流化床法，将硅烷通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应，生成粒状多晶硅。 (流化床法的工艺简图) 优点：热解时温度要求较低

升级，产品种类日益丰富，服务水平显著提高，初步形成了门类较为齐全的产业体系。在节能领域，干法熄焦、纯低温余热发电、高炉煤气发电、炉顶压差发电、等离子点火、变频调速等一批重大节能技术装备得到推广普及
形势。从国际看，在应对国际金融危机和全球气候变化的挑战中，世界主要经济体都把实施绿色新政、发展绿色经济作为刺激经济增长和转型的重要内容。一些发达国家利用节能环保方面的技术优势，在国际贸易中制造绿色壁垒

。这是一项行业生产电池组件的最低成本。这是通过各项创新做到成本最低的。创新包括：优化工具、非晶体硅、多晶硅吸收层等离子体化学气相沉积、使用环境高度环保F2更高效的清洁KAI反应器。只需要释放更少量的

0.35euros/Wp成本生产环保太阳能组件的全球标准。这是一项行业生产电池组件的最低成本。这是通过各项创新做到成本最低的。创新包括：优化工具、非晶体硅、多晶硅吸收层等离子体化学气相沉积、使用环境高度环保F2更高
效的清洁KAI反应器。只需要释放更少量的F2就可以达到更高的腐蚀率。所有的这些创新都减低了生产成本，缩短了生产周期，提高了生产线产能。对研发更大投入大大促进了具有时代意义的创新，进一步降低了产品的价格

地球向日面的大气层和电离层，对短波通讯造成干扰；耀斑爆发还会喷射出大量高能粒子，严重危及空间飞行器内的宇航员和仪器的安全；磁化等离子体云，也就是磁暴，对地球磁层的撞击不仅导致地球辐射带电子密度增加，使卫星
，可使我们免于受到严重的辐射损伤。手机通信不受影响短波信号传输到不了大气层离子层太阳风暴对于地球来说更多的是间接影响，不是直接影响。比如说，太阳耀斑爆发所产生的电磁辐射会以光速传到地球，直接影响

中来产品如此广受欢迎，可否透漏一些核心的技术介绍？林总：核心技术包括四方面，第一是核心配方研制技术；第二是等离子体的投射技术；第三是表面修复技术；第四是我们的设备设计与制造技术。从研发到生产，我们申报
、反应速度和高效率等方面同时赢得跨越式竞争优势。专业化企业不同于传统企业，他们能够灵活地适应成本结构和业务流程，在更高的生产力，更低的生产成本，创造更多的价值。时间的脚步缓缓走入21世纪，这是个科技的时代

企业一步，到时后悔不已。　　一、华电集团红泥井太阳能光伏项目取得内蒙古发改委批复近日，中国华电集团新能源发展有限公司红泥井风电场风光一体化10MWp太阳能光伏项目取得内蒙古自治区发改委下发开展前期工作
的批复，标志着该项目取得重大进展。红泥井10MWp太阳能光伏发电项目位于包头市固阳县红泥井风电场内，该地区地势平坦，太阳能资源丰富。该项目直接利用现有红泥井风电场已建成升压站送出，属风光一体化项目

。反应性蒸馏。很多情况下，用硅烷而不是用TCS作为前驱物，因为淀积温度低得多。硅烷（SiH4）能用TCS与固体催化剂（离子交换型）的再分配反应生产，此反应也称为Brutto反应4SiHCl3