硅片清洗

硅片切割是太阳能光伏电池制造工艺中的关键部分。该工艺用于处理单晶硅或者多晶硅的固体硅锭。线锯首先把硅锭切成方块，然后切成很薄的硅片。（图1）这些硅片就是制造光伏电池的基板。 图 1.硅片切割的3个

温度变化导致的厚度偏差；具有稳定的性能，可提供一致的产品质量，安全环保，易于清洗与回收，可广泛应用于太阳能和电子级硅片生产，从而显著降低切割消耗。 作为业界领先的化工企业，陶氏化学多年来一直将可
产业成为国际上继IT、微电子产业之后又一“爆炸”式发展的行业。 中国是世界上第三大太阳能电池生产国，随着光伏产业的迅猛发展，处于光伏产业上游的硅片生产环节显得越来越重要。为了降低成本，增大单位原料的产出

太阳能电池生产设备方面取得重大技术突破，靠自主知识产权，使国产多晶硅片铸锭炉等设备与国外进口设备达到一争高低的水平。 　　这一重大成果，不仅打破国外的技术壁垒，为发展我国的太阳能产业提供了巨大
支撑，也为山西省从地下到天上实现能源开采大转换，开辟出一条金光大道！　　国际水平炼丹炉这样铸就发展太阳能产业，核心技术在于太阳能电池生产的多晶硅片制造，关键设备则是被业内人士形象地称为炼丹炉的多晶硅片

发展目前尚属起步阶段，未来成长将有很大的空间。光伏产业与半导体有很多的共通点，如都使用硅片作为原材料以及薄膜生产技术。目前已经有众多的传统半导体供应商积极地进入了光伏行业。而光伏产业与传统半导体行业的
减少不必要的库存及成本。 吴景键介绍说，在即将到来的SEMICON上，杜邦将重点展出用于65nm及以下节点的EKC铜制程的清洗解决方案、研磨液、符合300mm先进制造过程程对产品寿命和质量的

）： A、 光伏生产设备： 硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备 硅片晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关
设备 电池生产设备： 全套生产线，蚀刻设备，清洗设备，扩散炉，覆膜设备/沉积炉， 丝网印刷机，其他炉设备，测试仪和分选机，其他相关设备 电池板/组件生产设备： 全套生产线

、多晶硅电池片平均效率分别可达17%和15.8%。 决定电池效率的因素主要分散在电池生产的各道工艺环节当中，从硅棒生长、切割，到电池的制备。就电池制备而言，又先后经历制绒清洗、扩散、镀膜
、丝网印刷和烧结等工艺。 制绒清洗工艺是以湿法工艺为主，设备不贵，槽式批次式生产。在线连续式生产设备目前主要依靠进口，价格昂贵，但可节约生产材料。 扩散工艺以管式扩散炉为主，也

新能源。为了适应太阳能电池产业的发展，满足日益增长的市场需求，抓住太阳能电池产业发展的历史机遇，本项目拟建整套100MW太阳能电池生产设备, 以单晶硅片为原料经表面处理、扩散、硅沉积、电极印刷、焊接等工序
㎡。研发生产中心包括半导体电路级要求的净化车间、高纯水系统、清洗制绒间、高温扩散炉、链式烧结炉、烘干炉，RTP炉、等离子刻蚀机、PECVD硅烷沉积设备等组成的125×125 mm、155×155 mm

整形、定向、切割、研磨、腐蚀、抛光、清洗等工艺,加工成符合特定要求的硅片。硅片的厚度已经从2004年的主流厚度270um发展到现在的200um为主。目前，国际上部分厂家量产的硅片厚度可以达到180um

硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池
大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大。此外

珠三角地区，主要涉及光刻机、清洗系统、探针台、划片机、粘片机、焊线机等产品；太阳能光伏(含太阳能硅片及电池片)设备产品的客户主要分布在长三角地区，涉及多线切割机、印刷机、清洗制绒系统、甩干机、划片机等