硅片清洗

，10多场同期论坛、推介会等活动，25省市光伏企业参与，助展商开拓不同地区市场，是本年度中国范围内影响力比较大的一个光伏行业的主题展会。 展品范围 光伏原材料：硅料、硅锭、硅块、硅片、封装玻璃
、封装薄膜、其他原料 光伏生产设备：硅棒、硅块、硅锭、硅棒硅块硅锭生产设备、硅片晶圆生产设备、电池板/组件生产设备、薄膜电池板生产设备 光伏电池：光伏电池生产商、晶体硅，薄膜电池组件生产商

、博士生导师孙云记者：孙教授，您好！请问目前晶体硅电池在生产过程中的污染主要有哪几个环节？当前现状如何？是否能够通过技术及设备得到有效解决？孙云：我觉得主要污染在硅原料及硅片生产这一环节，因为石英砂制成
还原凝结为高纯度的多晶硅原料。这一过程很大部分是在高温下进行。将硅原料铸锭或拉单晶也要在真空条件下，高于硅的熔点1410℃经过一定时间来完成。因此硅片生产的全部过程中，二氧化碳的排放、化学废液的处理、含

告诉记者，当初进入赛维只是为了在家乡找到一份薪资还可以的工作。后来了解到赛维做的产品和卫星上吸收阳光来发电的东西差不多，就觉得这东西是高科技产品，决心好好做下去。进入赛维后，林晓峰被分配做硅料清洗和
％-64％左右，但半熔做出来的硅片效率要高；产量是每台设备每月10埚左右，全熔多1到2埚。成本看每个厂的控制，比如当地的工资水平，聘请技术人员的工资和数量，还有就是中、西部的电费差价等，这些是主要影响因素

硅片晶圆生产设备： 全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备 电池生产设备： 全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关

。 　　解决PID的方法需对漏电流产生阻断效应，其中一种工业上正在导入的方法是在硅片表面形成SiO2钝化层以减少表面复合，表面复合可以当作是导带的电子和价带的空穴通过相当于表面态的缺陷能级复合，这可以通过
的表面钝化方式主要是在硅片表面形成Si02薄膜层，Si02薄膜层的实现方式主要有干氧、湿氧、臭氧、三氯乙烷（TCA）氧化、氧化亚氮或一氧化二氮（Nitrous Oxide）又称笑气来氧化、表面UV照射

背面沉积氧化铝钝化层。Manz VCS 1200系统采用全新的垂直式工艺技术,产量高达每小时1,200个硅片。由于配备高效能电浆和新式载具系统，该镀膜工艺不会在硅片上留下任何针印或未镀区，而这
业界最高的太阳能电池效率和均匀性。由于该系统的快速清洗理念能让电池制造商在系统外部清洗工艺区和载具，实现了停机时间最小化。与其他厂商提供系统不同的是，仅需 VCS 1200单一系统就可沉积介电质

1200系统采用全新的垂直式工艺技术,产量高达每小时1,200个硅片。由于配备高效能电浆和新式载具系统，该镀膜工艺不会在硅片上留下任何针印或未镀区，而这一技术优势正是其他许多同类厂商的系统所不具备的。此外
快速清洗理念能让电池制造商在系统外部清洗工艺区和载具，实现了停机时间最小化。与其他厂商提供系统不同的是，仅需 VCS 1200单一系统就可沉积介电质钝化层。该系统不仅极易维护，还可轻松整合至现有

工艺技术,产量高达每小时1,200个硅片。由于配备高效能电浆和新式载具系统，该镀膜工艺不会在硅片上留下任何针印或未镀区，而这一技术优势正是其他许多同类厂商的系统所不具备的。此外，VCS 1200系统使得
PECVD层可以实现单面沉积，而不会出现另一面也有边缘沉积的情况。Manz的高性能PECVD工艺技术保障了最佳的加工再现性，以及业界最高的太阳能电池效率和均匀性。由于该系统的快速清洗理念能让电池制造商在

小时左右，变化后每次更改工艺都是一组新数据。每次切割结束的时候，我第一个到达现场，查看运行结果，不等硅片进入下一道工序，赶紧将硅片取下来，手动清洗，测量厚度，翘曲，锯痕，崩边等数据，根据切割质量调整