硅烷流化床法

多晶硅产业的发展。代表们对于西门子法、改良西门子法、流化床法、硅烷法、冶金法、CP法等各种多晶硅的生产工艺都进行了深入的讨论。最后，由工程院副院长杜祥琬院士和周廉院士分别作了总结。 上海普罗新能源

西门子法、硅烷法和流化床法。 其中应用最为广泛的技术是改良西门子法，约有70-80%的多晶硅项目采用改良西门子法。该方法通过采用大型还原炉，降低了单位产品能耗，采用SiCl4氢化和尾气干法回收

更低的水平，那将会是一番什么样的景象？ 改良西门子法还是物理法提纯？ 在生产高纯多晶硅的技术方面，目前多种生产工艺路线并存，国际上多晶硅生产主要的传统工艺有改良西门子法、硅烷法和流化床

生产工艺路线并存，国际上多晶硅生产主要的传统工艺有改良西门子法、硅烷法和流化床法。其中应用最为广泛的技术是改良西门子法，约有70-80%的多晶硅项目采用改良西门子法。该方法通过采用大型还原炉，降低了单位产品

新工艺。但硅烷是易燃易爆气体，不易保存，生产安全问题不如改良西门子法易于处理。硅烷热分解炉比较复杂，硅棒直径受到限制，这也是该方法尚待解决的问题。 粒状多晶硅是采用流化床法生产的，经过十余年开发

太阳能光伏产业发展对配套材料的需求 待定 2008年4月29日 下午13:30 主持人宣布开始 待定 13:30-15:10 多晶硅制备新技术报告 待定 物理提纯法制备新技术 待定 新硅烷法太阳能
级多晶硅在技术指标上远远低于半导体级多晶硅，目前广泛应用的半导体级多晶硅制备技术“改良西门子法”技术路线长、投资、能耗巨大，并不是太阳能级多晶硅的理想制备技术。在市场的刺激下，一批新型的太阳能级多晶硅制备

的市场份额，但存在投入过高、投资周期长、经营风险偏高等不足；硅烷法有利于为芯片业服务，但生产安全性还有待提高；流化床法的成本和电耗较低，但存在产物的污染问题；冶金法在为太阳能光伏发电产业服务方面，拥有

技术秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。其中改良西门子工艺生产的多晶硅的产能约占世界总产能的80％，短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变。 （2

技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异，各有技术特点和技术秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。其中改良西门子工艺生产的