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合理,系统先进,操作方便,运行可靠,实现了供料、启动、供电、停炉等全自动控制,是目前国内最大、电耗最低的多晶硅还原炉,各项指标达到或超过了863合同要求;该课题全面、出色地完成了研究任务,多项技术有