电池制备工艺

太阳电池要求双面镀膜，正面镀氮化硅，背面镀二氧化硅和氮化硅，这种情况下，灵活的微波间接法就有较大的优势。另一些技术要求在制备出氮化硅薄膜后还进行湿法光化学金属镀膜工艺，这对氮化硅膜的密度和质量要求高了

　　6月14日举行的冶金法太阳能多晶硅制备技术及应用研讨会上，业界专家们探讨了冶金法太阳能多晶硅制备技术的未来发展之路，并发表倡议推动低成本光伏发电的《厦门宣言》,本站主编曹宇应邀参加本次会议
。 　　在《厦门宣言》公布的新闻发布会上，中国工程院院士闻立时、中国产学研合作促进会新材料专业委员会副理事长邵立勤、三晶阳光电力有限公司董事长郑智雄从不同层面肯定了冶金法太阳能多晶硅制备技术存在的现实意义

先进高纯硅生产工艺和设备基础上，加快消化吸收提升改良西门子工艺技术，掌握和完善还原炉、氢化系统和尾气干法回收系统及全过程自动控制等关键技术。开发冶金法制备多晶硅材料、高纯石英砂制备太阳能级多晶硅等低成本

攻克了“冶金物理法”制备太阳能级多晶硅的技术难题，形成了具有自主知识产权的稳定工艺。用自主工艺生产的太阳能级多晶硅制作的单晶硅太阳能电池，光电转换率平均达到16%以上，最高达到17.91%。该工艺具有

了全方位合作关系，为他们在这一领域的深入研发积累了丰富的素材。 　　学校以材料学科为支撑，正在申请组建光伏材料省级重点实验室，目前已经形成了多晶硅锭太阳能电池材料铸造新工艺研究、多晶硅薄膜太阳能电池

优化工艺条件，可极大提高原料的利用率和降低镀层厚度的不均匀性（NU）。Veeco目前针对薄膜太阳能电池的大规模生产向客户提供钼、CIGS及TCO沉积层的集成制造解决方案。经生产验证的CIGS热沉积源
Veeco日前与中国电子科技集团公司第十八研究所、中国化学与物理电源行业协会共同举办了铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳电池技术研讨会，议题涵盖CIGS薄膜太阳能电池的最新生产设备、测试设备及目前中国光伏

的沉积系统并优化工艺条件，可极大提高原料的利用率和降低镀层厚度的不均匀性（NU）。 Veeco目前针对薄膜太阳能电池的大规模生产向客户提供钼、CIGS及TCO沉积层的集成制造解决方案。经生产验证的
Veeco日前与中国电子科技集团公司第十八研究所、中国化学与物理电源行业协会共同举办了铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳电池技术研讨会，议题涵盖CIGS薄膜太阳能电池的最新生产设备、测试设备及目前中国光伏

目前商业化生产的薄膜硅太阳能电池主要分为非晶硅(a-Si)薄膜和非晶/微晶硅 (a-Si / μc-Si) 叠层薄膜。其生产工艺首先是在玻璃基板上制造透明导电氧化物(TCO)，然后再通过PE C V
D方法沉积p型、i型和n型薄膜，最后用溅射做背电极。目前工业化的TCO制备方法有溅射法(Sputter)和化学气相沉积法(CVD)，分别在玻璃基板上形成ZnO:Al或ZnO薄膜。化学气相沉积通常使用

and technology in China ——高效、低污染多晶硅技术 ——Efficient, clean polysilicon technology ——冶金法多晶硅制备工艺及其进展 ——Process

强有力的支撑。经过多年的不懈努力，中国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设等，都已经初步具备成套供应能力。在目前国产设备及进口设备混搭的主流建
的开发，设备、产品和应用并举，以领先的产品助推产业的发展。作为国内最大的太阳能电池设备生产商，我们和多个一流企业有紧密的合作关系，参与并见证了国内产业的发展和技术进步，所产设备紧密切合工艺的要求，也