烧结

，然而关键制程如化学器气象沉积(PECVD)、烧结炉(Firing Furnace)、扩散炉(Diffusion)等仍技术不足。 　　晶硅与薄膜制程 　　回归到制程设备来看台湾厂商的发展现况，首先谈较
半导体，经由蚀刻(etching)将n型边缘除去，才能彰显出p-n二极管的结构，接着经过电浆镀膜(SiN-coating)、金属镀膜(Metallization)等方式在晶圆上印出导电电极，再经烧结

(125mm125mm)的高产能，PECVD实际工艺效果得到进一步的提升，色差现象基本消除，目前已累计装备近700MW的国内外生产线。快速烧结炉产品在温度均匀性、稳定性、冷却效果等方面持续提高。值得一提的是，由

的需要。而装片量达196片/管(125mm125mm)的高产能，PECVD实际工艺效果得到进一步的提升，色差现象基本消除，目前已累计装备近700MW的国内外生产线。快速烧结炉产品在温度均匀性、稳定性

还要分别印刷电极，通过烧结炉烧结。完工后，太阳能电池须通过效率等电气指标测试及外观检验，最后进行分类、包装。 Jonas & Redmann光伏生产解决方案公司为Q-Cells公司的高标准

的硅片其边缘会残留一层磷硅玻璃，必须去除，故硅片还需再经一道水浴清洗干净。此后，硅片需另敷一层薄膜，增强其透光性。硅片正反面还要分别印刷电极，通过烧结炉烧结。完工后，太阳能电池须通过效率等电气指标测试

主导地位，2种(管式化学气相淀积设备PECVD、快速烧结炉)与进口设备并存且份额正逐步增大。此外，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式PECVD则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器等在行业获得

方滚磨机、多线切割机清洗制绒机、扩散炉、刻蚀机、等离子增强化学气相淀积设备、烧结炉及各种太阳电池测试设备等。西安理工晶科、北京京运通真空设备公司、江苏华盛天国产太阳电池制造设备的喜与忧龙机械

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接触必须让导电率介于104 与 106S/cm之间，并且具有高的稳定性，藉由已商业化的银纳米粒子的墨水，利用喷枪在氮气下喷洒涂上，然后经由100~180℃的烧结，使粒子熔融形成连续的膜层。IMEC提到

(Despatch Carbon Fiber)和热技术(Despatch Thermal Technology)三大事业部。在目前的太阳能电池制程中，迪斯派奇在各重要环节均提供优异的技术方案，包括烧结炉和整合
式的in-line扩散系统，可有效提高转换效率及良率。迪斯派奇在全球太阳能烧结炉市场的市占率高达52%，为全球第一品牌，同时也也拥有业界公认用以生产碳纤维材料的最佳氧化炉技术(oxidation