烧结

体生产线的电池板切割设备、清洗设备、制绒设备、扩散设备、镀膜设备、刻蚀设备、印刷设备、烧结设备、测试设备、非硅体生产线装备及最新薄膜技术电池的各种生产技术与测试设备； ■ 光伏产品及控制设备

软件 Tecnofimes S.r.l. 扩散及烧结炉 Muegge GmbH PECVD微波能系统 CTF Solar 完整碲化镉组件生产设备 Roth & Rau Shanghai

、丝网印刷和烧结等工艺。 制绒清洗工艺是以湿法工艺为主，设备不贵，槽式批次式生产。在线连续式生产设备目前主要依靠进口，价格昂贵，但可节约生产材料。 扩散工艺以管式扩散炉为主，也

相沈积、快速烧结炉等三项关键制程设备，并完成台湾第一条自动化太阳能电池全制程设备，并于去年第四季起开始陆续出货，逾半数制程及自动化设备已通过客户验证。 携手合作 竞争力大增

㎡。研发生产中心包括半导体电路级要求的净化车间、高纯水系统、清洗制绒间、高温扩散炉、链式烧结炉、烘干炉，RTP炉、等离子刻蚀机、PECVD硅烷沉积设备等组成的125×125 mm、155×155 mm

片项目产业链长、技术水平高、发展前景大，具有很强的产业带动作用。为了实现均衡配套发展，有必要加大硅烷、VEA和低铁玻璃的研发与投资。同时，逐步实现拉晶炉、铸晶炉、扩散炉、烧结炉、丝网印刷机、PECVD

大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大。此外

的包括扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、清洗机、单晶炉、铸锭炉等关键设备在内的“晶体硅太阳能电池制造成套装备”获得成功，也标志着我国已基本具备太阳能电池制造设备整线供给能力

性价比优势明显；管式PECVD工艺结构接近国际先进水平，正逐步进入大生产线，但相对于进口平板连接式PECVD设备，自动化程度(自动装卸片)和产量都相对较低；高温烧结炉与国际先进水平有一定差距，但差距不大

产业化、新型环保电子浆料及电子粉体材料、绿色无铅电路板焊接材料、年产700吨耐250℃高温高性能烧结钕铁硼磁体、高密度(HDI)印制电路板生产线建设、挠性高密度印制电路板用覆铜板材料产业化等项目被列入