湿法

太阳电池要求双面镀膜，正面镀氮化硅，背面镀二氧化硅和氮化硅，这种情况下，灵活的微波间接法就有较大的优势。另一些技术要求在制备出氮化硅薄膜后还进行湿法光化学金属镀膜工艺，这对氮化硅膜的密度和质量要求高了

:00-10:30 特邀报告：湿法冶金除杂技术的发展现状及展望 黄小卫 北京有色金属研究总院教授级高工 茶歇 10:40-12:00 特别邀请沈辉、杨德仁、王

解决问题。近年来，无锡尚德与多家公司合作，在扩散炉、湿法制绒设备、单晶硅掺镓以及铝浆制作等领域取得了不俗的成绩。同行业之间的整合是企业合作的另一个方式。工业和信息化部电子信息司副巡视员王勃华以多晶硅产业为

能的三分之二强。 多环节自动化 首先，生产线必须具备足够的产能。从硅片原料到太阳能电池成品，中间多道环节都投入了机器人承担作业任务。硅片需要经过湿法设备完成数道化学水浴，消除表面
Q-Cells公司的新生产线中，ABB Flex Picker机器人承担化学水浴工序的拾放料任务。机器人将硅片迅速、准确地放上传送带，硅片通过湿法设备后，机器人再将硅片取下传送带，放入载运系统

必须具备足够的产能。从硅片原料到太阳能电池成品，中间多道环节都投入了机器人承担作业任务。硅片需要经过湿法设备完成数道化学水浴，消除表面的微观损伤。硅片经磷扩散处理，表面形成一层负电极膜。但从扩散炉出来
Mario Ptz强调说。在Q-Cells公司的新生产线中，ABB FlexPicker机器人承担化学水浴工序的拾放料任务。机器人将硅片迅速、准确地放上传送带，硅片通过湿法设备后，机器人再将硅片取下

和阻止不必要的溶液抛弃而带来的环境性浪费。” ECI Technology是全球领先的湿法化学度量技术供应商，ECI将参展SEMICON China，展位号为4722。

该公司这似乎是相当不错的一个成绩。 STANGL Semiconductor Equipment AG曾经因为其8台卷轴到卷轴湿法化学涂布设备售予Ascent Solar而受人关注。这些设备

、丝网印刷和烧结等工艺。 制绒清洗工艺是以湿法工艺为主，设备不贵，槽式批次式生产。在线连续式生产设备目前主要依靠进口，价格昂贵，但可节约生产材料。 扩散工艺以管式扩散炉为主，也
%，原本是马丁·格林试验室的专利，受制于湿法绒面技术而未能量产，尚德公司最近取得突破性进展，正在积极向生产线推广。 4.“SE”电池：“SE”代表选择发射极，是基于选择性扩散技术的一种现有

设备的总体的技术状况是：虽然已具备整线装备能力，但自动化水平较低，部分设备尚需实现突破。在湿法腐蚀和清洗设备方面，全自动制绒清洗设备、全自动PSG去除设备，国内已经能够制造，并接近国际水平，初步具备参与

　　当前太阳能生产线的设备供应包括各种各样的竞争方案，部分方案利用有毒化学物质，制造有毒废物。如现在工厂广泛应用丝网印刷和湿法刻蚀，它们利用现有适用于太阳能生产的成套生产线设备。不过太阳能是一种