湿法

，RIE）及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法（metalCatalyzedChemicalEtching，MCCE），干法黑硅设备以常州比太科技为主，湿法黑硅设备以阿特斯和尚德以自我改造为主。干法黑硅与湿法黑硅

用。电池片环节：生产环节，清洗/制绒设备：基本以国产为主。扩散炉：经历了开管-闭管-全封闭（软着陆）-负压扩散几个阶段，大部分电池企业采用国产装备。刻蚀：基本采用湿法工艺，以国产设备为主。PECVD：以管式

。研发团队攻坚克难，协鑫集成多晶湿法黑硅PERC电池也已于今年2月开始量产，湿法黑硅PERC电池平均效率也已达到20%，单片最高效率达到20.5%。黑硅PERC高效电池量产，真正体现了以快制胜的协鑫精神

-闭管-全封闭(软着陆)-负压扩散几个阶段，大部分电池企业采用国产装备。刻蚀：基本采用湿法工艺，以国产设备为主。PECVD：以管式PECVD为主，也已基本实现国产。八、光伏是人为制造的虚假的繁荣?还是

-闭管-全封闭(软着陆)-负压扩散几个阶段，大部分电池企业采用国产装备。刻蚀：基本采用湿法工艺，以国产设备为主。PECVD：以管式PECVD为主，也已基本实现国产。八、光伏是人为制造的虚假的繁荣?还是

懈怠。研发团队攻坚克难，协鑫集成多晶湿法黑硅PERC电池也已于今年2月开始量产，湿法黑硅PERC电池平均效率也已达到20%，单片最高效率达到20.5%。黑硅PERC高效电池量产，真正体现了以快制胜的协鑫

设备：基本以国产为主。扩散炉：经历了开管-闭管-全封闭(软着陆)-负压扩散几个阶段，大部分电池企业采用国产装备。刻蚀：基本采用湿法工艺，以国产设备为主。PECVD：以管式PECVD为主，也已基本实现国产

离子反应法(RIE)黑硅蚀刻工艺后，效率进一步提升到了20.6%。协鑫集成表示，为搭配金刚线切与黑硅技术，公司深入比较并研究添加剂、MACE(俗称湿法)以及RIE三种工艺，最后利用RIE达到了成本与表现的

最主要的硅片供应商之一，绿能科技在硅片方面已获得多项高阶专利技术。GET品牌的V2多晶硅片搭配PERC电池技术后，转换效率可达19.4%；若进一步加上金刚线切割与绿能科技专利的湿法黑硅蚀刻技术，转换效率