氯化氢

和还原也是化学工艺，在化工厂里建设西门子法多晶硅工厂的一个最大的好处就是无论是氯化氢或氢气原料等，还是四氯化硅、二氯二氢硅等副产品，都可以在其化工厂内进行循环使用，因此，工艺消耗可以降到最小，工艺成本

氯化氢和冶金级工业硅为原料，制取三氯氢硅，再利用三氯氢硅进行氢还原，生产出多晶硅。在多晶硅的生产过程中的前期反应中，会产生大量四氯化硅（SiCl4）、二氯二氢硅等副产物，而第二阶段合成工序也会再产生10

生产环节，其他的中下游环节基本不存在污染。目前，全球80%以上的多晶硅都是用改良西门子法生产的，中国的多晶硅产业基本也是如此。改良西门子法的原理是：以氯化氢和冶金级工业硅为原料，制取三氯氢硅，再利用三氯氢

做为原料生产白炭黑等化工产品，是降低多晶硅生产成本的有效手段。高纯多晶硅制造环节还有氢气、氯化氢等产生，在国家发改委、工信部和环保部2010年联合颁发的《多晶硅行业准入条件》（工联电子137号）中
明确规定：还原尾气中四氯化硅、氯化氢、氢气回收利用率不低于98.5%、99%、99%，不达标的不允许开工生产。国家环保部也委托环科院、中科院等第三方机构，连续多年对晶硅光伏电池全产业链、全生命周期

、废砂浆以及氟化物，也有明确清晰和环境友好的处理和回用，不会对环境造成危害。下文将介绍其处理过程。1.四氯化硅的去向四氯化硅具有强腐蚀性，遇空气后分解为硅酸和剧毒的氯化氢气体。四氯化硅产生于西门子法提纯

的污染物，如：四氯化硅、废砂浆以及氟化物，也有明确清晰和环境友好的处理和回用，不会对环境造成危害。下文将介绍其处理过程。1.四氯化硅的去向四氯化硅具有强腐蚀性，遇空气后分解为硅酸和剧毒的氯化氢气体。四氯化硅

硅转化成三氯氦硅，在加氢气还原成太阳能级多晶硅。 另外会形成副产物氯化硅，四氯化硅遇潮湿空气即分解成硅酸和氯化氢，如果处理不当会产生污染问题，但是目前我国多晶硅生产企业采用的改良西门子法已可做到闭环