氩气净化
史珺博士谈普罗的多晶硅铸锭炉的炉前检查来源：新浪博客 发布时间：2014-09-09 13:12:15
在炉前检查时容易被忽略。但一旦污染，很容易造成真空泵损坏，因此，一定要每次都清洁。而管道内如果有滤网，那么，滤网也要每炉进行清洁。充气系统多晶硅铸锭过程中需要充入氩气，此外，在冷却时也要对炉内充氩气
。在铸锭时，要对炉内充氩气保护，因此，充气系统要保持完好。充气系统由气源、气管、阀门、流量与压力计等组成。要逐一检查是否完好，尤其是气体管路的炉内部分，要注意不要与其它炉内元件尤其是加热元件碰到，或距离
中强光伏：史珺博士谈普罗的多晶硅铸锭炉的炉前检查来源：新浪博客 史珺博士 发布时间：2014-09-09 09:03:21
。但一旦污染，很容易造成真空泵损坏，因此，一定要每次都清洁。而管道内如果有滤网，那么，滤网也要每炉进行清洁。
充气系统
多晶硅铸锭过程中需要充入氩气，此外，在冷却时也要对炉内充氩气。在铸锭时
，要对炉内充氩气保护，因此，充气系统要保持完好。充气系统由气源、气管、阀门、流量与压力计等组成。要逐一检查是否完好，尤其是气体管路的炉内部分，要注意不要与其它炉内元件尤其是加热元件碰到，或距离过近
