晶硅薄膜

和掺杂非晶硅薄膜环节，理想万里晖提供的 PECVD 设备在备受好评，迈为股份也不断精进其 PERCVD 设备;在沉积 TCO 薄膜环节， 钧石能源的 PVD 设备已经入大规模生产应用，捷佳伟创在获得
实现了小批量生产，但规模量产仍需要一定时间。钧石能源起步较早，作为设备供应商有研发和量产硅基薄膜太阳能电池生产线的经验，于 2010 年开始研发高效单晶 异质结电池，在 2016 年建成 100MW

随后在多晶硅价格暴跌后公司生产成本居高难下，2011年不得不支付2.12亿美元提前结束了合同;在中国光伏产业已经出现产能过剩苗头的情况下做出扩张的错误决策，同时花费巨资研发薄膜电池;2011年底开始的
已经将下一步发力点定在了金融领域。 说起金融，朱共山最大对头，汉能控股集团董事局主席李河君则更要印象深刻。朱共山是全国最大的多晶硅制造商，李河君则是十年内薄膜必定取代多晶硅的薄膜代言人。 1988年

安排，云南石油负责加油站小型分布式光伏太阳能发电开发与技术应用研究课题中的CIGS膜(铜铟镓硒膜)分布式光伏发电应用研究子课题项目。2016年、2018年采用薄膜光伏组件，建成投用红河南溪加油站、昆明
万度，年节约用电成本2.4万元。试点项目取得较好效果。 2019年，云南石油选用光电转换率更高、投资成本更低的单晶硅光伏组件，建成投用15座。总装机量932.73千瓦，年发电量117万度，年节

。 主要应用薄膜电池晶硅类电池 产能产量不断上升 完成国产替代 伴随着光伏发电行业的蓬勃发展，光伏玻璃产业景气度回升。多年来，国内厂商不断进行技术引进和研发，逐渐打破国外企业在光伏玻璃行业的垄断，同时
和双玻组件。最后再与逆变器共同组成光伏发电系统。 光伏玻璃作为光伏组件的上游原料，其强度、透光率等直接决定了光伏组件的寿命和发电效率，是晶硅光伏组件生产的必备材料，因此光伏玻璃行业是光伏行业的

硅基薄膜工艺形成p-n结发射区，制程中的最高温度就是非晶硅薄膜的形成温度(200℃)，避免了传统晶体硅电池形成p-n结的高温(950℃)。可以降低能耗、减少对硅片的热损 伤。 ③获得较高的转换效率
。HJT电池中的本征薄膜能有效钝化晶体硅和掺杂非晶硅的界面缺陷，形成较高的开路电压。 ④由于电池上表面为TCO导电玻璃，电荷不会在电池表面的TCO上产生极化现象，PID现象(电势诱导衰减

使电池效率进一步提升。在硅片表面同时采用本征的非晶硅进行表面钝化，在背面分别采用N型和P型的非晶硅薄膜形成异质结。其优点是利用非晶硅优越的表面钝化性能，并结合IBC结构没有金属遮挡的结构优点，采用相同的器件

(OPV)，CIGS(铜铟镓硒化物/亚硫酸盐)或薄膜硅之类的薄膜技术非常适合此类应用。 替代地，如果将结晶硅电池布置成玻璃-玻璃模块中的图案或在电池之间具有较大间隙，则也可以通过使用结晶硅电池来实现半透明

的玻璃来实现。诸如有机半导体(OPV)，CIGS(铜铟镓硒化物/亚硫酸盐)或薄膜硅之类的薄膜技术非常适合此类应用。 替代地，如果将结晶硅电池布置成玻璃-玻璃模块中的图案或在电池之间具有较大间隙，则也

，单晶硅和多晶硅电池优于非晶硅电池。 太阳能电池主要包括晶硅电池和薄膜电池，靶材主要应用于薄膜太阳能电池的背电极环节以及HIT(异质结)电池的导体层。晶体硅太阳能电池按照生产工艺不同可分为硅片涂覆型

异质结电池来说，藉由逐步使用薄片化硅片来达到提效降本的功能成为可能。 工艺流程简单 异质结电池的另一项优势在于工艺步骤相对简单，以梅耶博格所开发的整合沉积正反面非晶硅薄膜的
如下： 01 制绒清洗机 ： 电池正反面制绒 02 等离子体增强化学气相(PECVD) 沉积正面本征非晶硅薄膜( i-a-Si:H)和 n型非晶硅薄膜( n-a-Si:H)， 沉积反面沉积