扩散炉
。
风险提示：光伏行业需求不及预期;技术扩散导致新技术溢价下降;组件环节竞争加剧。
一、组件核心壁垒在销售端，品牌、渠道、供应链尤为重要
1.1 组件已成为光伏产业链价值变现出口，核心
优势。
2)2016-2018年：2016年下半年起，随着单晶长晶炉的成熟、金刚线切割替代砂浆线等因素，单晶硅片的成本显著降低，并在2016年9月价差降低至0.1元/W，此时单晶的优势逐步体现，对于
已列举的招商范畴中，记者注意到，产业链上游将围绕清洗机、离子注入机、扩散炉等设备;中游将围绕焊带、光伏玻璃、层压机、自动焊接机等生产设备;下游将围绕储能电池、逆变器、光伏系统集成等。 在强链环
式冷冻机，其它相关技术设备，纯净水制造设备，研磨机/分配器/混合器，清洁设备，熔炉/干燥炉/烧成炉，电脑辅助制造等
C. 燃料电池关键部件及供应技术：
电极/催化剂，膜电极组，其它电池堆材料，气体
扩散膜，隔离膜，热利用/热能技术，气电共生系统，散热器，加热器，热水储存槽，热交换器，供应技术：阀门/接头，化学氧化物，压缩机，纳米碳管，泵，送风机，其它相关产品技术;评估/测试/分析：单电池测试设备
，极大的降低了下游客户在电池技术转型过程中面临的投资和产出的风险，助力全球光伏产业高效电池技术升级。 羲和XH10000低压扩散炉系统(左) 祝融系列ZR50002管式PEALD系统(右
/蒸汽涡轮，变频器/变流器，吸收式冷冻机，其它相关技术设备，纯净水制造设备，研磨机/分配器/混合器，清洁设备，熔炉/干燥炉/烧成炉，电脑辅助制造等
C. 燃料电池关键部件及供应技术：
电极/催化剂
，膜电极组，其它电池堆材料，气体扩散膜，隔离膜，热利用/热能技术，气电共生系统，散热器，加热器，热水储存槽，热交换器，供应技术：阀门/接头，化学氧化物，压缩机，纳米碳管，泵，送风机，其它相关产品技术
：直接掺杂。LPCVD 制备多晶硅膜结合扩硼及离子注入磷工艺。离子注入技术是单面工艺，掺杂离子无需绕度，但扩硼工艺要比扩磷工艺难度大，需要更多的扩散炉和两倍的 LPCVD，投资成本高、良率更高，主要
/2025 年 182+硅片占比分别85%/95%，带动单晶炉和坩埚等拉晶设备尺寸持续增加，进一步释放现有设备更新改造需求。
▍技术工艺渐进成熟，N 型电池-组件的产业化提速。目前 P 型电池逐渐
。LPCVD制备多晶硅膜结合扩硼及离子注入磷工艺。离子注入技术是单面工艺，掺杂离子无需绕度，但扩硼工艺要比扩磷工艺难度大，需要更多的扩散炉和两倍的LPCVD，投资成本高、良率更高，主要是隆基股份布局
及检测等环节，电池片生产分为清洗制绒、扩散、刻蚀、覆膜及检测等环节，而到了组件环节包括串焊、层压机检测等工艺流程。较长的产业链涉及技术路线与工艺流程多，行业降本提效诉求下的技术迭代和扩产节奏加速，设备
态密度低。
管式PECVD：使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多篇硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。优势：相比板式PECVD，成本端有更大的下降空间
是湿式化学清洗设备。
主要厂商：日本YAC、德国Singulus、德国RENA。捷佳伟创的清洗设备已完成样机并交付。
2)PECVD(非晶硅薄膜沉积)：该步骤取代了传统PERC工艺中的扩散工艺，是
中的 N 形成 SiNx 沉积到硅表面。优势：技术最成熟，易实现大 面积均匀性，材料缺陷态密度低。
管式 PECVD：使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热 体，将一个可以
传统 PERC 工艺中的扩散工艺，是构造异 质结结构的关键，难度、壁垒最高，价值占到全部设备的 50%，为异质结设备的核 心。从技术路径上：板式 PECVD 是目前主流，管式 PECVD
设备： 全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备 电池板/组件生产设备： 全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备
