扩散炉
基本代表了国内的技术水平。新一代的清洗/制绒机，在多晶制绒工艺上进行了有针对性的技术改进，节水节液效果明显。全封闭软着陆扩散炉在温度和气氛场稳定性、偏磷酸排放、环保处理、扩散成本等技术性能方面又有全面
技术进步，所产设备紧密切合工艺的要求，也基本代表了国内的技术水平。新一代的清洗/制绒机，在多晶制绒工艺上进行了有针对性的技术改进，节水节液效果明显。全封闭软着陆扩散炉在温度和气氛场稳定性、偏磷酸排放
、环保处理、扩散成本等技术性能方面又有全面提升，可全面满足国内最新工艺的需求。新型ICP刻蚀设备，采用无油真空泵、自动匹配射频电源，工艺时间更短，去边效果更好，维护成本更低，单台产能即可满足30MW生产线
渗透到许多电子产品的制造领域，其中最典型的是平板显示器件和太阳能电池领域(二者均含有半导体工艺及设备，其主流材料也未离开硅)，例如晶硅太阳能电池生产线中的单晶炉、扩散炉、PECVD(等离子增强化学气相
的微观损伤。硅片经磷扩散处理，表面形成一层负电极膜。但从扩散炉出来的硅片其边缘会残留一层磷硅玻璃，必须去除，故硅片还需再经一道水浴清洗干净。 此后，硅片需另敷一层薄膜，增强其透光性。硅片正反面
必须具备足够的产能。从硅片原料到太阳能电池成品，中间多道环节都投入了机器人承担作业任务。硅片需要经过湿法设备完成数道化学水浴，消除表面的微观损伤。硅片经磷扩散处理，表面形成一层负电极膜。但从扩散炉出来
。太阳能电池制造大部分工序使用的制造装置都实现了中国境内采购（注8）。但全自动丝网印刷机和平板式PECVD装置仍依赖进口。
除太阳能电池的制造设备外，上游的多晶硅铸锭炉和下游的检测器也能在国内采购到
。在9月的常州展会上，最受关注的是浙江精工科技（注9）展出的多晶硅铸锭炉“JJL500”（注10）。这是全球首台能够制造500Kg多晶铸锭的设备。目前已经接受了多家客户的预定，供货将于2008年12月
扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据
方滚磨机、多线切割机清洗制绒机、扩散炉、刻蚀机、等离子增强化学气相淀积设备、烧结炉及各种太阳电池测试设备等。西安理工晶科、北京京运通真空设备公司、江苏华盛天国产太阳电池制造设备的喜与忧龙机械
从一个侧面反映了快速发展的中国光伏产业对全球有关材料和设备供应厂商的吸引力。近30余家国内光伏设备企业以实物和图片形式展出了具有自主知识产权的高性价比先进设备，包括单晶炉、多晶硅铸锭炉、单晶硅切断机、切
、切方滚磨机、多线切割机清洗制绒机、扩散炉、刻蚀机、等离子增强化学气相淀积设备、烧结炉及各种太阳电池测试设备等。西安理工晶科、北京京运通真空设备公司、江苏华盛天国产太阳电池制造设备的喜与忧龙机械
从一个侧面反映了快速发展的中国光伏产业对全球有关材料和设备供应厂商的吸引力。
近30余家国内光伏设备企业以实物和图片形式展出了具有自主知识产权的高性价比先进设备，包括单晶炉、多晶硅铸锭炉、单晶硅切断机
式的in-line扩散系统，可有效提高转换效率及良率。迪斯派奇在全球太阳能烧结炉市场的市占率高达52%，为全球第一品牌，同时也也拥有业界公认用以生产碳纤维材料的最佳氧化炉技术(oxidation
IL-RTS 工具、新上市的60MW 双向烧结炉(dual-lane firing furnace)、整合式in-line 扩散系统(diffusion system)，以及旗舰级金属烧结炉和干燥炉
