扩散炉

软件 Tecnofimes S.r.l. 扩散及烧结炉 Muegge GmbH PECVD微波能系统 CTF Solar 完整碲化镉组件生产设备 Roth & Rau Shanghai

设备 电池生产设备： 全套生产线，蚀刻设备，清洗设备，扩散炉，覆膜设备/沉积炉， 丝网印刷机，其他炉设备，测试仪和分选机，其他相关设备 电池板/组件生产设备： 全套生产线

、丝网印刷和烧结等工艺。 制绒清洗工艺是以湿法工艺为主，设备不贵，槽式批次式生产。在线连续式生产设备目前主要依靠进口，价格昂贵，但可节约生产材料。 扩散工艺以管式扩散炉为主，也

在清大博士班时，均对太阳能有深入的研究，友达正评估与均豪规划延伸合作，由均豪提供设备技术服务，协助友达架设薄膜产线。 均豪着墨太阳能设备领域已有成果，已在传统硅晶领域成功开发扩散炉、化学气
相沈积、快速烧结炉等三项关键制程设备，并完成台湾第一条自动化太阳能电池全制程设备，并于去年第四季起开始陆续出货，逾半数制程及自动化设备已通过客户验证。 携手合作 竞争力大增

㎡。研发生产中心包括半导体电路级要求的净化车间、高纯水系统、清洗制绒间、高温扩散炉、链式烧结炉、烘干炉，RTP炉、等离子刻蚀机、PECVD硅烷沉积设备等组成的125×125 mm、155×155 mm

片项目产业链长、技术水平高、发展前景大，具有很强的产业带动作用。为了实现均衡配套发展，有必要加大硅烷、VEA和低铁玻璃的研发与投资。同时，逐步实现拉晶炉、铸晶炉、扩散炉、烧结炉、丝网印刷机、PECVD

硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池

，提供所需的材料和解决方案以实现太阳能的利用。就中国太阳能制造行业的供应商而言，我们注意到市场上本土的设备供应商数量正在增长。然而，对于关键的生产设备，如PECVD扩散、焙烧炉以及丝网印刷等，主要的设备

48所，施正荣欣喜地发现，作为太阳能电池生产的关键工艺装备之一的扩散炉，中电48所的产品性能指标一点都不比国外差，而价格仅为国外产品的1/3。从此，他成了中电48所扩散炉的忠诚用户。而与无锡尚德的联姻

国际竞争的条件；200mm扩散炉的制造已和国际中等水平相当，性价比优势十分明显，并在实际中大量应用到国内的太阳能电池片生产线上，属于比较成熟的设备；国产刻蚀设备距国际先进水平差距较大，产量较低，但
性价比优势明显；管式PECVD工艺结构接近国际先进水平，正逐步进入大生产线，但相对于进口平板连接式PECVD设备，自动化程度(自动装卸片)和产量都相对较低；高温烧结炉与国际先进水平有一定差距，但差距不大