扩散炉

，通过气相沉积法和低温高压的反应炉技术生产的多晶硅，具有生产周期短，70小时能出一炉；单炉产量大，一炉可生产3.5吨；硅棒品质高，多晶硅纯度提高到“9个9”，甚至于“11个9”电子级；单位能耗低，仅为

及分选设备、硅片外观检测器、材料成分检测器、硅片磨床、硅片抛光机、自动硅片装载系统、硅片装卸系统、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、减反射覆膜设备、丝网印刷设备、 电池组件用太阳模拟器、组件室外
： 铸锭炉、拉晶炉、材料成分检测器、硅棒硅料外观检测器、寿命分析器,、电阻检测器、硅料检测器、 线锯、激光锯、带状锯、硅片清洗设备、硅片超声波清洗设备、电阻检测器、寿命检测器、硅片检测

、 清洗设备、扩散设备、蚀刻设备、覆膜设备（PECVD）、丝网印刷、测试分选设备、其他炉设备等； 原料：硅料、硅片、硅棒/硅锭、封装玻璃、封装薄膜及其他原料； 相关零部件：蓄电池、充电器

不是电极的一部分。 直接法又分成两种： 　　（1）管式PECVD系统：即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。这种设备的
法中的等离子体直接作用于硅片表面，因此均匀性要好一些，而间接法等离子体是离子离化后形成SiNx扩散到硅片表面的，薄膜的质量较为酥松，而磁控溅射由于其工作方式的原因，薄膜最为酥松。对于致密的薄膜，其钝化

工艺减少了硅片分拣工作，提高了吞吐量。减少分拣工作可以降低破损率，改善良品率，降低拥有成本。 BTU为硅光伏和薄膜光伏提供太阳能加工设备。BTU设备用于薄膜光伏领域的CIGS工艺和CdTe工艺。BTU的快烧炉和在线扩散系统则服务于硅光伏应用。

先进高纯硅生产工艺和设备基础上，加快消化吸收提升改良西门子工艺技术，掌握和完善还原炉、氢化系统和尾气干法回收系统及全过程自动控制等关键技术。开发冶金法制备多晶硅材料、高纯石英砂制备太阳能级多晶硅等低成本
技术、高效燃烧及供热技术、气化和液化技术、垃圾发电二恶英处理技术等关键技术。提高生物质燃烧锅炉、焚烧锅炉、高效气化装置、热解液化装置等关键装备生产能力。加快推进秸秆直燃锅炉、生物质循环流化床气化炉及系统

晶圆生产设备： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关设备电池生产设备： 全套生产线，蚀刻设备，清洗设备，扩散炉，覆膜设备/沉积炉， 丝网印刷
8:30-16:30撤展：2010年5月 7 日 15:00-17:00展出内容（展品属类）：A、 光伏生产设备：硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线，铸锭炉，坩埚，生长炉，其他相关设备硅片

渗透到许多电子产品的制造领域，其中最典型的是平板显示器件和太阳能电池领域(二者均含有半导体工艺及设备，其主流材料也未离开硅)，例如晶硅太阳能电池生产线中的单晶炉、扩散炉、PECVD(等离子增强化学气相淀

，然而关键制程如化学器气象沉积(PECVD)、烧结炉(Firing Furnace)、扩散炉(Diffusion)等仍技术不足。 　　晶硅与薄膜制程 　　回归到制程设备来看台湾厂商的发展现况，首先谈较

研究所太阳能电池技术研究室主任王文静介绍，我国光伏设备的国产化率已经达到30%-40%，其中扩散炉的国产化率甚至高达90%。可见，中国光伏产业尤其是装备制造业在部分领域已经具备了参与全球竞争的实力。　　以
解决问题。近年来，无锡尚德与多家公司合作，在扩散炉、湿法制绒设备、单晶硅掺镓以及铝浆制作等领域取得了不俗的成绩。同行业之间的整合是企业合作的另一个方式。工业和信息化部电子信息司副巡视员王勃华以多晶硅产业为