扩散炉

，光伏行业同样属于大半导体行业范畴、但对设备的技术要求却没有半导体那样高。 选定了行业，下一步就是选择哪个产品作为突破口，王俊朝首先选择了扩散炉。1990年国内第一台全自动扩散炉研制成功，王俊朝是该

王俊朝注意到，光伏行业同样属于大半导体行业范畴、但对设备的技术要求却没有半导体那样高。 选定了行业，下一步就是选择哪个产品作为突破口，王俊朝首先选择了扩散炉。1990年国内第一台全自动扩散炉研制成功

焊接机、平板式PECVD镀膜设备也几乎完全依赖进口。但整体来说，光伏设备正在经历快速的替代进口过程。电池环节相关的扩散炉、等离子刻蚀机等已完全替代进口并开始实现出口。在硅片环节，国产化进程正在快速推广
和组件厂商都计划大幅扩产，规划产能的年均增长率约60%~70%，不少企业扩产率超过100%。预计到2011年底，国内太阳能电池总产能达到15GW。因此，多晶硅铸锭炉、单晶硅生长炉、开方机、多线切割机等

最具水平、规模和影响力的太阳能光伏产业基地。公司先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备并成功推向市场，成为国内最大的太阳能电池制造装备

、硅片/晶圆生产设备、电池片/组件生产设备、薄膜组件生产设备、清洗设备、扩散设备、蚀刻设备、覆膜设备（PECVD）、丝网印刷、测试分选设备、其他炉设备等；光伏电池：光伏电池生产商、电池组件生产商、电池组件

： 全套生产线，切割设备，清洗设备，检测设备，其他相关设备；（3）电池生产设备： 全套生产线，蚀刻设备，清洗设备，扩散炉，覆膜设备/沉积炉，丝网印刷机，其他炉设备，测试仪和分选机，其他相关设备；（4）电池板

设备及其他相关设备； 电池生产设备： 全套生产线，腐蚀清洗设备，扩散炉，减反射膜/沉积设备，丝网印刷机，测试仪和分选机，其他相关设备； 电池板/组件生产设备：全套生产线，测试设备，玻璃清洗设备，引线
发展促进中心 海外组展单位：香港东港国际展览有限公司三、展览范围：A、 太阳能光伏生产设备：硅棒硅锭生产设备：单晶炉，铸锭炉，坩埚，热场及其他相关设备； 硅片晶圆生产设备： 切割设备，清洗设备，检测

制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的9种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)和

日前，中国电子科技集团公司（简称中国电科）48所承担的电子信息产业发展基金《多晶硅铸锭炉开发及产业化》项目及《大口径闭管高温扩散/氧化设备》项目顺利通过验收，实现我国太阳能光伏产业关键设备国产化的
重大突破。 多晶硅铸锭炉是光伏产业链前端的关键设备。《多晶硅铸锭炉开发及产业化》项目的实施，中国电科48所以科技创新为己任，高瞻远瞩，克服重重困难，攻克了多晶硅定向凝固工艺技术、高洁净炉膛技术、晶体硅

集团和湖南省市政府的高度重视和大力支持下，48所先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备并成功推向市场，成长为国内最大的太阳能电池制造装备