扩散炉

SiH4、镀膜靶材）、光电设备供应商（晶硅生长炉、扩散炉、清洗/制绒设备、等离子刻蚀机、硅片研磨机、PECVD设备、激光切割机、激光划线设备、组件压层、测试设备等）、能源公司/电力公司、光伏相关

设备： 全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备电池板/组件生产设备： 全套生产线、测试

，获得11项具有自主知识产权的核心技术。该所研发的高温扩散炉和等离子刻蚀机两种产品，多年在国内市场占有率高达80%。紧跟国际最新技术，该所还率先在国内研制成功首台八英寸程控扩散炉、ICP等离子刻蚀机等光伏

设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备电池板/组件生产设备： 全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线

工序：硅片经线锯切割后，在硅片表面形成切割损伤层，用化学腐蚀方法去除硅片表面切割层，同时通过腐蚀在硅片形成一层均匀的反射层，作为制备P-N 结衬底。扩散工序：将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气和
激发硅烷、氨气分离出氮离子，与硅片接触后形成均匀的SiNx 膜，将多晶硅片中的晶界悬挂键固定。制作上下电极及烧结工序：通过丝网印刷在扩散后的硅片表面印刷银栅电极和铝背电极，并通过红外烧结炉，采用高温快速

生产线，蚀刻设备，清洗设备，扩散炉，覆膜设备/沉积炉， 丝网印刷机，其他炉设备，测试仪和分选机，其他相关设备 电池板/组件生产设备： 全套生产线，测试设备，玻璃清洗设备，结线/焊接设备，层压设备等

设备电池生产设备：全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备 电池板/组件生产设备：全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备

) 电池生产设备： 全套生产线，腐蚀清洗设备，扩散炉，减反射膜/沉积设备，丝网印刷机，测试仪和分选机，其他相关设备； 　　d) 电池板/组件生产设备：全套生产线，测试设备，玻璃清洗设备，引线焊接设备及层压
范围： 　　●太阳能光伏生产设备： 　　a) 硅棒硅锭生产设备：单晶炉，铸锭炉，坩埚，热场及其他相关设备； 　　b) 硅片生产设备： 切割设备，清洗设备，检测设备及其他相关设备； 　　c

。公司经过多年的努力，卧式扩散炉在国内已经有了一定的市场，并且已经可以替代进口，立式扩散炉方面与国际先进水平也在逐步缩小。目前，公司已有12英寸立式扩散炉样机，可以用到90-65nm工艺生产中。太阳能电池

及其他相关设备；b) 硅片生产设备： 切割设备，清洗设备，检测设备及其他相关设备；c) 电池生产设备： 全套生产线，腐蚀清洗设备，扩散炉，减反射膜/沉积设备，丝网印刷机，测试仪和分选机，其他相关设备
)光伏产业、光伏市场及政策法规；（8）光伏标准；（9）光伏信贷投资、税收和融资。会议期间还将安排若干专题研讨会。 五、参展范围： 太阳能光伏生产设备：a) 硅棒硅锭生产设备：单晶炉，铸锭炉，坩埚，热场