扩散炉

太阳能电池片，在硅片上进行掺杂和扩散，一般掺杂物为微量的硼、磷、锑等。扩散是在石英管制成的高温扩散炉中进行。这样就在硅片上形成PN结。再采用丝网印刷法，将精配好的银浆印在硅片上做成栅线，经过烧结，同时

、开放式自动化解决方案应用于光伏制造领域、丝网印刷方案、全自动串焊机方案、PECVD，MOCVD应用方案、扩散炉方案、单晶硅炉，多晶硅铸锭炉方案。 倍福基于PC的控制技术在丝网印刷方面可以非常

扩散炉时，具有很大面积厚度比的Si片受到的不均匀加热使得Si片中产生很大的温度梯度，相应地产生了很大的热应力，当应力超过Si的屈服强度时，扩散诱生缺陷就会产生。若组件中出现隐裂电池片，在经过
)。 　　原材料缺陷势必导致Si衬底非平衡少数载流子浓度降低，造成扩散结面不平整，p-n结反向电流变大，从而影响太阳电池效率。　　2.2 扩散工艺　　扩散是制备晶体Si太阳电池的关键工艺步骤，其直接决定着电池的

领域、丝网印刷方案、全自动串焊机方案、PECVD，MOCVD应用方案、扩散炉方案、单晶硅炉，多晶硅铸锭炉方案。倍福基于PC的控制技术在丝网印刷方面可以非常方便的把视觉处理，矫正，直线电机运动控制非常

领域作为市场化突破口，凭借在半导体装备领域的技术优势，他们推出高温扩散炉和等离子体刻蚀机，并逐渐垄断国内市场。到2005年现任所长唐景庭上任时，适逢国内光伏产业兴起，48所因之时来运转，成为赛维LDK
最多的太阳能电池制造商的中国，排名进入全球前十位的有五家。但是在关键的光伏装备制造领域，今年(2010年)只有我们一家。现在，你们所有的光伏企业一投资建线首先就会想我们的扩散炉。据48所宣传部部长欧利平

、其他相关设备；电池生产设备: 全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、节丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备；硅片晶圆生产设备: 全套生产线、切割设备、清洗设备

、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备电池板/组件生产设备：全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备、层压设备薄膜电池板生产设备：非晶硅

设备； 电 池 生 产 设 备:全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、节丝网印刷机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备； 硅片 晶圆 生产 设备:全套生产线、切割

》，其太阳能子公司Tempress的扩散炉市场份额增加了约40%，2010年太阳能设备中晶体硅扩散炉领域排名第一。 Amtech总裁、首席执行官J.S. Whang表示，晶硅扩散炉的排名

工序 增加了独立、可调的排废系统，杜绝了扩散炉内的交叉污染。 4)等离子增强化学气相淀积工序 将单机联控系统改为独立控制系统，减少了停机次数，增加了产量;增加了可控温的加 热系统，使气体流量、温度稳定
有效扩散长度 1ZL200410017861.7已获授权2007.12.26发明专利 的测试方法 2一种单晶硅片制绒的方法ZL200810170672.1已获授权2010.04.21发明专利 一种